Occasion AXCELIS / FUSION Gemini 200PCU/P #9103139 à vendre en France

FUSION Gemini 200PCU/P est un système d'exposition ultra-précis qui offre d'excellentes capacités d'imagerie et des performances de superposition extrêmement précises. L'unité est optimisée pour gérer les appareils les plus complexes, à petit pas, avec sa caractéristique la plus distinctive est la capacité d'image précise et d'aligner des marques de superposition aussi petites que 0.02 microns. La machine est équipée d'une table de nivellement automatique avec compensation à double prix qui peut rendre de petites variations de hauteur plus cohérentes. Cette technologie de pointe assure une imagerie efficace afin d'obtenir la plus grande précision de superposition possible. Les étages de balayage vertical et horizontal sont conçus pour une précision optimale et une vitesse de traitement rapide. L'étage vertical a une résolution de 50nm avec une accélération maximale de 1G et une vitesse maximale de 400mm/s. L'étage horizontal a une résolution de 0,003 microns, une accélération maximale de 5Gs et une vitesse maximale de 250 mm/sec. Les deux étages ont des moteurs de couple numériques, et sont conçus pour maintenir un alignement très précis pendant tout le processus d'exposition. Pour l'imagerie, l'outil utilise un aligneur visible de pointe avec un laser vert 500W. Cela garantit une imagerie propre avec une plus large gamme de paramètres d'exposition pour les appareils à pas fin. Le processeur est livré avec un contrôle d'imagerie amélioré et un actif auto-exposition, permettant un contrôle précis des paramètres d'exposition. Le modèle a également une fonction de gestion thermique intégrée, qui réduit les contraintes thermiques qui pourraient affecter les performances de l'équipement. En maintenant un environnement thermique stable, le système aide à réduire la fréquence des erreurs liées à la chaleur. L'unité Gemini 200PCU/P est conçue pour fonctionner de manière respectueuse de l'environnement. Il a une conception à faible bruit, et dispose d'un filtre à carbone pour réduire l'impact environnemental de ses émissions. Dans l'ensemble, l'outil Gemini 200PCU/P d'AXCELIS est un excellent outil pour obtenir un chevauchement extrêmement précis des marques d'alignement sur les dispositifs à tangage fin. Avec ses fonctionnalités d'imagerie avancées, ses atouts de gestion thermique supérieurs et sa précision incroyable, le modèle est sûr d'être un atout précieux pour toute installation de production de puces personnalisées.