Occasion AXCELIS / FUSION I250B #9411422 à vendre en France

AXCELIS/FUSION I250B est un équipement d'exposition conçu pour le traitement de la photolithographie des dispositifs de mémoire et des IC. Il offre une exposition fiable, répétable et répétable avec une résolution et un débit élevés. Il a une conception modulaire qui lui permet de s'adapter facilement aux différentes exigences du processus. FUSION I250B utilise une multitude de technologies de pointe pour atteindre ses résultats impressionnants. Le système utilise deux longueurs d'onde différentes de la lumière dans sa procédure d'exposition, fournissant ainsi des capacités d'imagerie et de résolution supérieures. La source lumineuse est un puissant Laser Diode Array (LDA) qui produit jusqu'à 900 mW de puissance laser et est capable de longueurs d'onde allant des UV à la gamme visible. Un miroir dichroïque est utilisé pour commuter la puissance laser entre les deux sources lumineuses. Cette unité utilise également un obturateur global qui minimise le flou pendant l'exposition. La machine dispose de diverses fonctionnalités pour un contrôle précis du processus d'exposition. Il offre une puissance laser réglable jusqu'à 500 mW, et des vitesses de ligne réglables de 0,5 à 1,5 ligne/sec. Le temps d'exposition est réglable de 1ms à 1000 ms pour affiner la répétabilité du processus. Son obturateur global empêche le flou de mouvement et fournit une couverture lisse et des rendements élevés dans les dispositifs à motifs. AXCELIS I250B dispose de diverses fonctionnalités pour l'éclairage des plaquettes, telles que la mise au point dynamique et un niveau d'intensité d'image arrière réglable. Cet outil utilise également un moyen de transport de plaquettes motorisées à deux axes. Il en résulte un plus grand débit ainsi qu'un alignement et une répétabilité fiables des plaquettes. I250B est conçu pour être utilisé avec une gamme de produits chimiques et de matériaux, tels que résist sec et humide, photorésist, gravure, bande de résiste, le placage électroluminescent et les matériaux anti-réflexion. Il offre une excellente uniformité, résolution et couverture, à travers et autour de la plaquette. Globalement, AXCELIS/FUSION I250B est un modèle d'exposition avancé conçu pour la précision et la fiabilité. Sa conception modulaire et ses caractéristiques offrent un excellent débit, une résolution et une répétabilité fiable. Avec ses performances impressionnantes, cet équipement est parfait pour le traitement de la photolithographie des appareils à mémoire et des IC.