Occasion AXCELIS / FUSION I250B #9411427 à vendre en France
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AXCELIS/FUSION I250B est un équipement d'exposition conçu pour produire des circuits imprimés lithographiques et des micro-caractéristiques pour la production de circuits intégrés et d'autres composants électroniques. Le système utilise des logiciels et du matériel de pointe pour fournir une plate-forme rentable et hautement productive pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Le cœur de l'unité est l'outil FUSION 300mm. La machine d'exposition AXCELIS utilise une combinaison unique de technologies Kalina et NEXUS pour produire des images haute résolution dans une large gamme de formes et de tailles complexes. Cela inclut des largeurs de lignes ultra fines ainsi que des motifs linéaires, des motifs en forme libre et des structures tridimensionnelles. L'outil peut effectuer l'exposition de balayage avec une taille de pas minimale de 125nm et la superposition positionnée avec une précision de sub-micron. L'actif intègre également un certain nombre de systèmes avancés de lithographie sans masque qui peuvent produire des motifs de haute fidélité sans avoir besoin de photomasques traditionnels. Ceux-ci comprennent C3D, une technique d'imagerie en champ proche basée sur des coordonnées, et l'immersion hybride, capable de fournir une imagerie haute résolution sans lentille optique. En outre, le modèle a été conçu pour répondre à une large gamme de matériaux et de produits chimiques résistants. Cela inclut les photorésists i-line et g-line, ainsi que les résines de contact et les résines de gravure. L'équipement de contrôle convivial permet aux utilisateurs de contrôler la posologie et les temps d'exposition sur une large gamme de paramètres d'énergie et d'intensité. Le système simplifie également le processus de développement pour les nouvelles applications de processus. Cela inclut des fonctionnalités telles que l'unité « Hybrid Job », qui permet la programmation séquentielle de processus multi-étapes, et « Job Capture » pour la configuration rapide des processus. La machine dispose également de capacités automatiques de mesure et d'analyse de motifs. L'outil est capable de fonctionner de manière autonome et en conjonction avec d'autres équipements de production. Il fournit un cadre flexible pour l'intégration dans d'autres environnements d'usine existants et est fabriqué pour répondre aux normes de qualité les plus élevées. Cela garantit la fiabilité à long terme et la répétabilité des produits, ce qui fait de FUSION I250B un outil fiable et rentable pour la production à haut volume de circuits à motifs.
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