Occasion AXCELIS / FUSION K250 #9411433 à vendre en France
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AXCELIS/FUSION K250 est un équipement d'exposition conçu spécifiquement pour le traitement des plaquettes IC. Le système utilise un moteur pas à pas propriétaire et des optiques pour fournir une exposition à haute résolution aussi petite que 0,45 µm. De plus, le moteur pas à pas est capable d'un alignement de grande précision, obtenant une précision de position de 1,5 µm. La machine a un design modulaire, ce qui la rend facile à mettre à niveau et à personnaliser pour diverses applications. En tant que tel, il est un outil fiable pour le traitement avancé des plaquettes IC. FUSION K250 a un étage de rotation de plaquettes avec une plaque porte-air de 4 "(100 mm), offrant une surface de balayage de 5,5 mm x 5,5 mm à 9,5 mm x 9,5 mm. L'étage de plaquette dispose également d'un mécanisme breveté d'alignement vertical, assurant la précision et la longévité. Il dispose également d'un outil unique « air-fencing » qui aide à contrôler le moteur pas à pas et l'optique, fournissant la stabilité pour le processus d'exposition. L'actif d'exposition est équipé de haute performance FUSION optique, qui dispose d'une taille de champ de 44 μ m x 33 μ m, temps d'exposition de 0,2 sec, posologie d'exposition de jusqu'à 10W/cm2, filtre de réduction de particules supérieur et d'autres caractéristiques. La configuration optique favorise également l'augmentation du débit, ce qui en fait un outil idéal pour les opérations de production. AXCELIS K250 est conçu pour être aussi convivial que possible. Il permet le chargement de recettes par lots et à port unique, avec un modèle de menu intuitif qui permet une facilité d'utilisation. En outre, une bibliothèque de plus de 100 recettes d'exposition est fournie, ce qui facilite le stockage et la récupération des paramètres. L'équipement dispose de deux gaz de base, l'oxygène et l'azote, qui sont utilisés dans les recettes définies par l'utilisateur pour prévenir la contamination des photomasques. De plus, le système est équipé d'une unité avancée d'élimination de l'humidité, assurant la sécheresse de la surface exposée de la plaquette. En plus de la technologie leader de l'industrie, K250 offre un excellent support technique. Les ingénieurs experts sont sur appel 24/7 et peuvent être rejoints par téléphone, email, ou par le site Web de l'entreprise. Dans l'ensemble, la machine d'exposition AXCELIS/FUSION K250 est un outil de pointe pour le traitement des plaquettes IC. Il offre des temps d'exposition rapides, une imagerie haute résolution, un matériel et une optique supérieurs et un excellent support. En tant que tel, il est le choix parfait pour les opérations de production IC.
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