Occasion AXCELIS / FUSION LC-6 #93376 à vendre en France

AXCELIS/FUSION LC-6 est un équipement d'exposition de haute précision et de haute productivité conçu pour répondre aux exigences lithographiques les plus complexes de l'industrie actuelle de la fabrication de puces. FUSION LC-6 peut être utilisé pour la photolithographie Deep UV, la lithographie E-Beam et les processus d'écriture directe, offrant aux utilisateurs une précision et une flexibilité inégalées. Doté d'un module d'imagerie personnalisé, AXCELIS LC-6 offre des performances précises sur une gamme de paramètres de processus et d'exposition. Le système est capable de défaut de photomasque nucléaire à 22 nm, et peut synchroniser plusieurs têtes d'exposition pour obtenir des tableaux isomères très précis. LC-6 est équipé d'un certain nombre de technologies de pointe pour assurer des résultats précis et reproductibles. Ceux-ci comprennent un module d'uniformité avec une architecture propriétaire pour assurer l'uniformité sur l'ensemble du champ de vision, et un algorithme propriétaire Wavefront Deviation pour ajuster la distorsion. L'unité est également équipée de l'outil FACSEL pour l'analyse précise et non destructive des images arrières. AXCELIS/FUSION LC-6 est conçu pour la tolérance et la reproductibilité des procédés. Une gamme de paramètres de processus peut être ajustée pour des applications spécifiques, avec une surveillance des défauts et une analyse post-exposition des processus disponibles pour affiner les réglages. Les paramètres peuvent également être ajustés en fonction des changements environnementaux, avec des options de surveillance de la température et de l'humidité en temps réel tout au long du processus d'exposition. La conception optique robuste de FUSION LC-6 garantit des performances à long terme, avec une conception sans DOE pour minimiser les vibrations, améliorer la linéarité et éliminer les artefacts d'image. La machine est également conçue pour minimiser la maintenance, avec un nettoyage automatique de l'optique, un lecteur sans entretien et une assistance logicielle à distance complète pour les opérations quotidiennes. Dans l'ensemble, AXCELIS LC-6 est un outil d'exposition avancé et de haute précision conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes de l'industrie de la fabrication de puces. Sa conception robuste et riche en fonctionnalités lui permet d'obtenir des résultats très précis et reproductibles, tandis que sa gamme de technologies de pointe contribue à maximiser la flexibilité et la reproductibilité des processus.