Occasion AXCELIS / FUSION M 150 #9095706 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 150 est un équipement de métrologie de dimension critique (CD) conçu et développé pour assurer la reproductibilité des expositions lithographiques pour l'essai et le traitement des plaquettes semi-conductrices. Ce système utilise des optiques d'éclairage laser avancées pour produire des profils d'exposition uniformes et stables. Il dispose de faibles doses d'entrée, des mesures de précision CD, et un fonctionnement hautement automatisé. FUSION M 150 est alimenté par une interface utilisateur graphique intuitive (GUI) et des outils orientés objets graphiques qui permettent des recettes d'exposition flexibles. Un algorithme efficace permet un contrôle CD précis de la topographie des plaquettes avec des résultats de contrôle de qualité traçables. En conséquence, il offre un débit moyen par tranche amélioré et plus rapide. AXCELIS M150 offre également une meilleure uniformité et stabilité pour des défauts de motif plus faibles, et des taux de rendement plus élevés. Cette unité utilise un DoE adaptatif avancé (conception d'expériences) basé sur la reconstruction de modèle volumétrique pour obtenir des conditions d'exposition optimales. Il est équipé d'un illuminateur de projection en ligne I à double source et d'une machine de métrologie en triangle RVB pour mesurer avec précision le CD sur la surface de la plaquette. Le puissant illuminateur I-line fournit un débit plus élevé et des résolutions plus élevées allant jusqu'à 1,1 um. En remplacement de l'étage réticulaire traditionnel, la précision de positionnement est améliorée avec l'introduction de l'étage piézo-axe à grande vitesse. L'étage Piezo est également capable de scanner avec précision, ce qui permet des superpositions peu coûteuses. AXCELIS/FUSION M150 a un accès direct à une base de données d'outils robuste pour faciliter la reprise rapide et répétable des processus. Il offre également une expérience utilisateur améliorée avec Auto Tool Calibration. Cette fonctionnalité garantit des résultats de processus précis et finalement augmente le débit de la plaquette. Il propose également un large éventail d'outils de métrologie et d'analyse, dont un puissant microscope optique, un outil d'analyse de superposition et un logiciel d'imagerie capable d'effectuer des angles compris entre 0 et 360 degrés. En outre, FUSION M150 est équipé d'une variété de fonctions de contrôle de qualité pour maintenir un niveau constant de qualité de production. Il dispose d'une métrologie OPC avancée synchronisée avec l'outil pour un meilleur contrôle de la précision, une meilleure résolution des mesures de CD avec correction dynamique et statique du champ plat pour une impression nette bord à bord, une grande variété de recettes ciblées pour une solution rentable, et une capacité de balayage haute résolution avec une grande taille d'échantillon. M150 offre une grande flexibilité, et offre une variété de configurations pour des performances optimales et des résultats de métrologie. C'est un atout fiable et rentable pour le traitement des plaquettes semi-conductrices, qui offre un fonctionnement simplifié et un débit de plaquettes maximal.