Occasion AXCELIS / FUSION M 150PC #9114863 à vendre en France
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ID: 9114863
Taille de la plaquette: 6"
Photostabilizer, 6"
Includes:
Cabinet with SST panels
Wafer chuck assembly
(2) Cassette elevators
(2) Wafer handling robots
AC Distribution box
Empty card cage
Cables.
AXCELIS/FUSION M 150PC est un équipement d'exposition optique haut de gamme conçu pour une performance optimale dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est idéal pour la petite filière et la production de grandes plaquettes, ce qui en fait un choix idéal pour les procédés avancés de fabrication de micropuces. FUSION M150PC dispose d'un système unique d'optique de projection collimatée, qui comprend deux miroirs 2 axes réglables individuellement de 7,5 pouces, un objectif Multi View Objective (MVO) de 5 pouces de longueur d'onde et un chemin optique de masque de champ 0,65 x. L'image cible est projetée uniformément sur un processeur de traitement d'image numérique pour un contrôle précis. L'unité comprend également un fournisseur d'énergie, une machine de focalisation automatique et une unité de gravure pour les essais de plaquettes et la planarisation. Avec ses fonctionnalités avancées, il offre une flexibilité et une vitesse de traitement maximales. L'outil peut être configuré pour répondre à une variété de formats et de résolutions d'images numériques, y compris JPEG, TIFF, BMP et CMJN. La résolution maximale est fixée à 20 000 points par pouce (ppi), ce qui la rend idéale pour le traitement sensible de graphiques et de textes complexes. La commande de mise au point automatisée permet de détecter de légers changements dans la position du sujet et d'ajuster précisément la mise au point afin de garantir la cohérence de la qualité de la couche exposée. En outre, AXCELIS M 150 PC supporte également les modes d'exposition à couches multiples. La conception robuste de l'actif permet aux utilisateurs de changer et d'ajuster efficacement les paramètres d'exposition avec une perte minimale d'efficacité. De plus, son modèle propriétaire d'obturateur à cristaux liquides offre la flexibilité nécessaire pour passer de 0,25 milliseconde classique à 999 millisecondes, ce qui permet un contrôle fin et une meilleure qualité d'image. Avec un écran tactile LCD convivial, AXCELIS M150PC offre une interface graphique intuitive pour régler les temps d'exposition, la zone d'exposition et les paramètres d'exposition de la couche. Le fonctionnement confortable et efficace est encore amélioré avec un équipement d'échappement à double zone qui maintient la chambre propre et assure la stabilité des niveaux de température et d'humidité. Dans l'ensemble, FUSION M 150PC est un système d'exposition fiable et efficace qui offre des performances supérieures et des fonctionnalités flexibles pour une gamme de techniques de traitement avancées. Elle est optimale pour les applications nécessitant une exposition propre et uniforme, telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour la microélectronique, l'optoélectronique et les technologies MEMS.
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