Occasion AXCELIS / FUSION M 150PC #9226631 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 150PC est un équipement d'exposition fabriqué par FUSION Technologies. C'est un système de lithographie utilisé pour créer des motifs sur des plaquettes et substrats de circuits intégrés (IC). L'unité est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 150mm de taille (6 pouces), avec une résolution de profondeur de motif jusqu'à 5 nanomètres. La machine se caractérise par ses capacités de haute résolution avancées, son débit élevé et sa facilité d'utilisation. L'outil dispose d'un outil de balayage pas à pas haute résolution à haut débit, capable de traiter des plaquettes de 6 "jusqu'à 350 plaquettes/h. Grâce au logiciel Asurf, le modèle est programmé pour un large éventail de motifs d'exposition et de matériaux de substrat, ce qui permet à l'utilisateur de personnaliser le processus en fonction de la taille de la plaquette souhaitée et des besoins de production. L'équipement dispose également d'une diode laser à ondes continues à longue durée de vie, capable de supporter la fixation de substrats jusqu'à 10nm. FUSION M150PC est également équipé d'une source de faisceau d'électrons haute performance. Cette source de faisceau permet à l'utilisateur d'atteindre des profondeurs de motif jusqu'à 5 nm, avec des plages de courant de faisceau jusqu'à 3 ampères/cm2 et une dose d'exposition jusqu'à 20 mrad/cm2. Le système offre également une détection intégrée des défauts en temps réel, permettant une productivité optimale en permettant à l'utilisateur d'identifier rapidement les défauts éventuels sur le substrat. L'unité est construite sur une conception ergonomique et un logiciel facile à utiliser, ce qui la rend facile à intégrer dans les processus existants et les exigences de formation. La machine est alimentée par les logiciels AXCELIS OneCET et AXCELIS/FUSION Interlock Controller, offrant une surveillance et un contrôle efficaces des processus des plaquettes. L'outil est conforme aux normes ISO, SEMI et OHSAS en matière de sécurité, de qualité et d'environnement. En outre, l'actif fait l'objet d'une maintenance et d'une mise à jour régulières afin de respecter les normes de l'industrie et les réglementations de sécurité, garantissant une performance optimale tout au long de sa durée de vie. Dans l'ensemble, AXCELIS M 150 PC est un modèle d'exposition haute performance conçu pour la plus grande précision et la plus grande clarté dans les définitions de motifs et les types de matériaux de substrat. Offrant un débit élevé et un comportement précis, l'équipement offre à l'utilisateur une grande flexibilité et la capacité d'ajuster continuellement pour des performances optimales. Associé à des paquets optionnels de traçage des faisceaux et de détection des défauts en temps réel, le système est une excellente solution pour la production d'IC et d'autres procédés connexes.