Occasion AXCELIS / FUSION M 150PC #9241901 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 150PC est un équipement d'exposition avancé et économique conçu pour la production de photomasques à haut volume. Avec son débit élevé, ses images de haute qualité et son automatisation avancée, il est la solution idéale pour fabriquer une variété de masques de photolithographie, y compris ceux pour afficher des LCD. Ce système offre une conception optique innovante et intégrée avec deux pompes à ions et deux stations de chargement de plaquettes. Il dispose également d'une électronique de nouvelle génération, y compris une interface tactile de grande taille et facile à utiliser et un contrôleur de mouvement, ainsi qu'une unité d'autofocus pour assurer une haute précision et un placement optimal des fonctionnalités. FUSION M150PC offre également une variété de fonctionnalités pour améliorer les performances systématiques. Ces caractéristiques comprennent une pompe à ions de forte puissance pour le développement efficace de films dans une gamme de gaz, un polariseur et un émetteur de grande surface ainsi que des ouvertures réglables pour permettre la production de contraste élevé, de distorsion faible, et des images de grande surface. La machine dispose également d'un scanner pleine portée (FRS) de type ProX pour permettre des temps de balayage rapides, ainsi que d'un outil intuitif d'alignement focal (FAS) pour l'alignement automatique du champ de tir. Il possède également un actif de lithographie multicouche avancé avec une énergie réglable par rapport au substrat. En outre, ce modèle dispose d'un mécanisme automatisé de manutention des plaquettes qui permet un traitement rapide et efficace des lots. Ce mécanisme de manutention des plaquettes est livré avec quatre robots - un pour le chargement et le déchargement des plaquettes de la station, deux pour l'inspection et le nettoyage, et un pour la séparation. Les robots peuvent être utilisés pour le traitement par lots avec plusieurs plaquettes pour augmenter le débit. De plus, le module charge/déchargement est également livré avec un équipement de détection automatique des collisions qui permet de ne pas endommager les réticules et autres composants. AXCELIS M 150 PC permet de produire une grande variété de types de photomasques, y compris des masques en aluminium et en quartz, ainsi que des transferts de différents substrats. Il offre également une variété de résolutions, allant de 50 nm à 500 nm. De plus, ce système est capable d'atténuer les erreurs de recouvrement, permettant un alignement précis des photomasques et un rendement accru. Dans l'ensemble, AXCELIS/FUSION M 150 PC est une unité d'exposition rentable et haute performance qui offre une multitude de fonctionnalités pour rationaliser, simplifier et améliorer la fabrication de photomasques. Avec son haut débit, son automatisation avancée et son interface intuitive écran tactile, il est l'outil parfait pour fabriquer des photomasques de haute qualité pour les applications LCD et Display.