Occasion AXCELIS / FUSION M 150PC #9250096 à vendre en France

AXCELIS / FUSION M 150PC
ID: 9250096
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1992
UV Bake systems, 6" 1992 vintage.
AXCELIS/FUSION M 150PC Exposure Equipment est un outil avancé d'exposition de plaquettes à vue directe conçu pour la production d'IC. Le système est adapté pour la production en quantité de dispositifs haute densité avec des tailles de caractéristiques sub-micron. L'unité est basée sur une machine à moteur linéaire qui permet un positionnement et un chargement/déchargement précis des substrats. L'outil est capable d'exposer jusqu'à 150 mm de substrats à une réduction de 200X avec une profondeur de focalisation de 30 microns. L'actif offre une série de fonctionnalités conçues pour réduire la contamination et augmenter la précision. La capacité de vision directe du modèle utilise un équipement intégré de projection de lentilles scellées à longue durée de vie avec une verrière fermée, ce qui garantit un environnement propre et sans poussière. Il est également équipé d'un interféromètre laser intégré qui assure un positionnement et un contrôle précis de l'inclinaison du substrat. L'unité optique du système utilise une lentille de projection sèche sans revêtement et une série de filtres passe-bande optiques qui permettent la génération de lignes fines et des caractéristiques de sous-microns. En outre, la machine est équipée d'un aligneur motorisé qui peut être utilisé pour aligner rapidement et avec précision les substrats avec une précision de < 0.2um. Le matériel de manutention motorisé des plaquettes de l'outil offre un traitement simple et double substrat et comprend une capacité de six sigmes. Le modèle dispose également d'une fonction de cartographie automatisée et entièrement automatisée des substrats pour assurer un traitement répétable des substrats. FUSION M150PC est un équipement efficace et fiable conçu pour une production rentable à long terme. La programmation spécialisée du système assure un débit rapide et stable, avec des cadences de production allant jusqu'à 12 cycles par heure. L'unité est conçue avec une configuration modulaire, permettant une flexibilité et des mises à niveau en cas de besoin. La machine offre également une connectivité réseau pour la surveillance et le contrôle à distance, et est compatible avec une variété d'ordinateurs hôtes, de systèmes d'exploitation et de logiciels. AXCELIS M 150 PC Exposure Tool offre des capacités d'exposition avancées et précises pour les processus de fabrication d'IC. Avec sa gamme complète de fonctionnalités et d'automatisation, l'actif est bien adapté à la production d'appareils haute densité et assurant des résultats précis et reproductibles.
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