Occasion AXCELIS / FUSION M 150PCJ #9095711 à vendre en France

AXCELIS / FUSION M 150PCJ
ID: 9095711
Taille de la plaquette: 5" & 6"
Photostabilizer, 5" & 6".
AXCELIS/FUSION M 150PCJ est un équipement d'exposition avancé et économique pour les applications à LED UV profond. Ce système permet des performances haut de gamme sur une large gamme de substrats sub-microns. Utilisant des technologies exclusives telles que l'imagerie directe à LED (DIDI) et une variété d'options de contrôle numérique de hauteur (DHC), FUSION M 150PCJ offre une précision supérieure pour l'imagerie et la taille des fonctionnalités. AXCELIS M 150PCJ est conçu avec une unité de mesure et de contrôle intégrée qui assure une précision de fonctionnement, un transfert d'image précis et une réponse dynamique. Cela inclut une machine de refroidissement à gestion thermique qui stabilise la chambre d'exposition pour des performances optimales. La technologie d'imagerie directe (DIDI) renforce le chevauchement entre les couches d'exposition et d'imagerie, tout en offrant une plus grande résolution de contraste des tailles de caractéristiques sur le substrat. Le module Mach 2.0 de FUSION intègre des options avancées de contrôle numérique de la hauteur (DHC), qui permettent un alignement précis des différentes couches et une routine d'exposition multi-focale. Grâce à cette capacité, le pas fin et l'uniformité des caractéristiques sur de nombreux substrats peuvent être atteints. En outre, M 150PCJ supporte les capacités de nettoyage in situ, ce qui favorise un traitement plus efficace des substrats et améliore le rendement et les performances des outils. AXCELIS/FUSION M 150PCJ dispose d'un design ergonomique, permettant une manipulation efficace et précise du processus. En outre, l'interface utilisateur intuitive de l'actif et les capacités de surveillance à distance en temps réel permettent un retour rapide à l'opérateur, facilitant des ajustements rapides si nécessaire. En outre, le modèle prend en charge une variété de processus de nettoyage tels que le nettoyage auto-focus, le nettoyage en profondeur et le nettoyage en phase B. Dans l'ensemble, FUSION M 150PCJ un équipement d'exposition polyvalent et très précis qui peut répondre aux besoins des applications UV profondes. Sa technologie intégrée de contrôle des couches et son flux de travail automatisé permettent une configuration rapide et un fonctionnement efficace. De plus, sa conception ergonomique et son bon rapport coût-efficacité en font une solution idéale pour une performance maximale du système.
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