Occasion AXCELIS / FUSION M 150PCU #9043936 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 150PCU Ion Implantation Equipment est un équipement de pointe et fiable pour une flexibilité de procédé et un débit d'implantation maximaux. Il s'agit d'un système d'implantation ionique intégré de technologie avancée, adapté à un large éventail de processus d'appareil. Il fournit précision et contrôle de balayage supérieur. Cette unité d'exposition est constituée d'une chambre source, d'un scanner et d'une machine de transfert de plaquettes. La chambre source est équipée d'un dopage 15EkV et d'un fusil à recuit 20kV. Il dispose d'un scanner électrostatique à 8 segments pour un contrôle précis des implants. L'axe vertical du scanner est commandé par ordinateur. L'outil de transfert de plaquettes est conçu pour que les plaquettes puissent être chargées et déchargées de l'actif sans arrêter le fonctionnement du modèle. Il est également équipé d'un module de chargement et de déchargement automatique des plaquettes. L'équipement est contrôlé par un système informatique basé sur Windows, qui permet une programmation plus facile des recettes d'implantation et un contrôle d'implantation plus précis. L'unité dispose également d'une boucle de rétroaction en temps réel, qui aide à contrôler la dose et le profil de l'implant. La machine permet la précision et la répétabilité même avec de petites différences de dose. FUSION M 150PCU fournit une implantation fiable, répétable et performante. Il utilise des techniques avancées de contrôle des sources d'ions et de contrôle avancé des faisceaux et des substrats pour assurer une productivité élevée. L'interface utilisateur se compose d'un grand moniteur couleur tactile et d'un langage de programmation graphique. Cela rend la programmation et les recettes changeantes rapides et faciles. L'outil est également capable de manipuler de petites tailles de substrat et différents procédés plasmatiques tels que des implants à faible énergie. L'actif dispose d'un cycle d'utilisation à plusieurs étages qui permet une utilisation optimale du dopant et une charge minimale du modèle. En outre, il dispose d'une flexibilité maximale de processus, permettant aux utilisateurs de gérer efficacement une variété de processus d'implantation avec ses temps de cycle rapide. AXCELIS M 150 PCU offre des capacités d'implantation et de recuit performantes, flexibles et efficaces pour une grande variété d'appareils et de substrats. Il contient une technologie avancée de contrôle de faisceau et une interface utilisateur intuitive pour une mise en œuvre plus rapide et plus précise des recettes d'implantation. Il a des performances répétables supérieures pour améliorer les rendements et les performances pour une fiabilité maximale.