Occasion AXCELIS / FUSION M 150PCU #9235795 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 150PCU est un équipement de photorésistance de qualité industrielle conçu pour les procédés de lithographie au niveau de la production, tels que la fabrication de plaquettes, de substrats et de masques. Le système est très flexible et offre des fonctionnalités telles que les changeurs automatisés de substrat et de masque, la stéréo-lithographie et la zone d'exposition réglable. FUSION M 150PCU est construit avec un logiciel complet pour supporter des expositions hautement reproductibles avec rapidité et précision. Le logiciel permet aux utilisateurs de contrôler pleinement les niveaux de lumière et les temps d'acquisition dans les processus secs et humides. De plus, il permet une précision de positionnement allant jusqu'à 0,1 mm sur une large plage d'exposition. Il permet également la cohérence de l'exposition à long terme avec une vitesse variable, la routine de balayage multi-zones. AXCELIS M 150 PCU se compose d'un pas et d'un contrôleur asservis de haute précision, d'un capteur photo et d'une plate-forme logicielle. Le contrôleur est équipé de son propre microprocesseur intégré et électronique pour interfacer avec le capteur photo. Le photo-capteur lui-même contient une unité optique de haute précision, permettant un contrôle plus précis de la puissance de sortie et des temps d'exposition par rapport aux profileurs standard. La machine est également équipée d'un outil de positionnement XY haut de gamme, offrant une précision sur une large surface. De plus, il comprend un actif de mandrin sous vide pour s'assurer que les échantillons sont bien en place pendant l'exposition. Le modèle peut également être équipé d'un équipement de revêtement antireflet, pour aider à réduire le risque d'accumulation statique sur la plaquette pendant le processus d'exposition. FUSION M 150 PCU dispose de dispositifs de sécurité intégrés, y compris des filtres à air dédiés et un blindage spécialisé pour protéger le personnel contre les rayonnements nocifs, et un système d'arrêt d'urgence intégré. L'unité est également extrêmement fiable, avec une disponibilité de 99,9 %. Dans l'ensemble, M 150PCU machine d'exposition est un excellent choix pour les processus de lithographie critique de processus. Il est robuste, facile à utiliser et très flexible, offrant précision laser et fiabilité pour une grande variété d'applications.