Occasion AXCELIS / FUSION M 150PCU #9293816 à vendre en France

AXCELIS / FUSION M 150PCU
ID: 9293816
Taille de la plaquette: 5"
Lithography system, 5".
AXCELIS/FUSION M 150PCU est un équipement d'exposition à performances intermédiaires conçu pour une variété d'applications nécessitant des capacités uniques et multiexposition. Cette machine dispose d'un nouveau système de mouvement à 6 axes qui offre la flexibilité nécessaire pour régler et personnaliser les incidents X ou Y dans des configurations à 1 axe, 2 axes ou 3 axes. Le temps d'échauffement de FUSION M 150PCU a été amélioré sur des systèmes similaires, avec un temps d'échauffement de 2 minutes pour un maximum de 6 axes. Cette unité est conçue pour fonctionner par paliers linéaires de 1 micromètre et offre une précision globale ± 2 % sur une plage de balayage de 20 mm. La machine a également une haute résolution de 22 nanomètres, permettant une plus grande sélectivité et précision avec des applications d'alignement, de contact et d'imagerie. La fonctionnalité de sous-exposition et l'autofocus intégré et la navigation intuitive rendent AXCELIS M 150 PCU adapté pour des conceptions rapides et la meilleure fonctionnalité et fidélité de motif possible. Cette machine est livrée avec une variété de fonctionnalités standard, y compris des sélections de niveaux d'énergie multiples, vitesse de balayage variable et dosimétrie variable, ainsi que des fonctionnalités de sécurité avancées complètes telles que la barrière de balayage, aligner, et scanner in situ. Il est également livré avec un ensemble de diagnostic complet pour s'assurer que la performance de l'outil reste dans les spécifications à tout moment. L'actif est alimenté par une interface utilisateur graphique facile à utiliser, offrant un fonctionnement simplifié et automatisé. Cette interface fournit également des journaux de données en ligne complets et un contrôle statistique des processus, permettant aux utilisateurs de suivre et de suivre les performances des processus en temps réel. En outre, le modèle offre un support complet pour les chambres spécialisées jusqu'à 200cm de largeur et une variété de procédures d'étalonnage. FUSION M 150 PCU est adapté à une variété d'applications clés, y compris la nanolithographie, l'ablation laser et le contrôle de mouvement dans les secteurs des sciences de la vie et de la microélectronique. Il s'agit d'un choix idéal pour les clients à la recherche d'un équipement d'exposition à performance intermédiaire de conception économique et fiable.
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