Occasion AXCELIS / FUSION M 150PCU #9355454 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 150PCU est un équipement d'exposition conçu pour la production de couches avancées de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise un système de machine en ligne monobloc, à double faisceau, conçu sur une seule plate-forme unifiée pour permettre le traitement et le placement de précision. L'unité offre une qualité d'imagerie supérieure à un débit de plaquettes ultra élevé pour une variété de tailles et de couches de plaquettes. L'optique de pointe de la machine, le porte-plaquettes découpés au laser et l'outil de chargement assurent un alignement précis, réduisant ainsi la non-uniformité du placement de la filière. FUSION M 150PCU est équipé de conceptions avancées pour l'exposition automatique, l'alignement des motifs, la coulée sous pression et l'alignement ainsi que l'alignement optimal du niveau cible. Ses fonctionnalités logicielles sont conçues pour maximiser le débit, contrôler les tapis, la vitesse, permettre l'alignement continu et l'imagerie à haut débit. L'actif permet de contrôler avec précision les paramètres d'exposition tels que la puissance d'éclairage, l'ouverture numérique, l'emplacement du capteur, la dose et la taille de la tache focale. AXCELIS M 150 PCU est livré avec six systèmes d'imagerie différents, dont un objectif standard à haute résolution, une détection ionique à haute résolution, un balayage annulaire, une auto-focalisation, un balayage annulaire et un alignement laser. Cela garantit une imagerie flexible et de haute qualité à différentes longueurs d'onde et ouvertures numériques. Pour un fonctionnement efficace, le modèle est conçu avec des inliers, des outliners, des patchs de placement et des pare-chocs indéchiffrables appliqués. Cela élimine les vibrations micrométriques et réduit les temps d'exposition. De plus, l'équipement dispose d'un enregistrement automatique pour les alignements de masque à excimère (MTE) et d'une meilleure précision d'enregistrement bord à bord. Le système est également conçu avec des capacités de manutention de plaquettes à cibles multiples. Son auto-alignement est capable de manipuler jusqu'à quatre piles de plaquettes et est conçu pour comprimer le groupe de plaquettes par détection automatisée, poussée, et serrage, pour permettre l'exposition de l'ensemble de la plaquette. En résumé, M 150PCU est une machine monobloc à double faisceau en ligne conçue pour permettre le traitement de précision et le placement de couches semi-conductrices avancées. La machine offre une qualité d'imagerie supérieure à un débit de plaquettes ultra élevé pour une variété de tailles et de couches de plaquettes, et dispose d'une optique haute résolution, d'un outil automatique d'enregistrement die-to-die, de plusieurs systèmes d'imagerie et de capacités automatisées d'inlier/outliner pour réduire la non-uniformité et améliorer la précision bord-à-bord. En outre, l'actif est livré avec des capacités de manutention de plaquettes à cibles multiples et un auto-alignement qui peut gérer jusqu'à quatre piles de plaquettes.