Occasion AXCELIS / FUSION M 150PCU #9355456 à vendre en France
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ID: 9355456
Lithography system, 6"
Process type: Photo stabilizer
Mechanical chuck
Chambers / Bath
Cassette
Alarm box
Manuals
Power supply: 400 V, 14 Amps, 3 Phase.
L'équipement d'exposition AXCELIS/FUSION M 150PCU est un outil sophistiqué pour le traitement lithographique avancé des plaquettes. Il est spécifiquement conçu pour être à la fois précis et rapide. Il dispose d'une longue distance de travail et d'un large champ de vision, permettant un alignement précis du réticule sur la plaquette. En outre, son taux d'exposition rapide et son temps d'exposition court maintiennent le flux de travail cohérent et efficace. Le système est idéal pour une gamme de procédés lithographiques, y compris l'exposition directe au laser UV, le revêtement photorésist UV et l'alignement post-revêtement. Son taux d'exposition rapide est dû à une unité optique à quatre lentilles avec une machine d'imagerie à champ flottant. Cet outil optique à quatre lentilles a une petite ouverture numérique, ce qui réduit la diffraction et augmente la résolution. L'actif dispose également d'une fonction Auto Focus pour amener rapidement la plaquette dans la position de mise au point optimale. FUSION M 150PCU fournit une grande précision pour les tâches d'imagerie critiques avec sa fonction d'auto-alignement intégrée. La fonction d'auto-alignement aligne rapidement et avec précision le réticule sur la plaquette pour un motif d'exposition correctement uniforme. En outre, sa fonction de mise au point réglable garantit que toutes les images ont la même distance de mise au point, assurant une exposition cohérente et la reproductibilité des résultats. Le modèle est également conçu pour faciliter la manipulation et le chargement des plaquettes. Il dispose d'une chambre d'accès rapide aux plaquettes qui s'ouvre facilement, permettant aux plaquettes d'être rapidement chargées et déchargées. De plus, son équipement automatisé d'alignement des plaquettes réduit les problèmes de désalignement et aide à positionner rapidement la plaquette sur l'étage d'imagerie. Dans l'ensemble, le système AXCELIS M 150 PCU est un excellent outil pour le traitement lithographique rapide et précis des plaquettes. Ses caractéristiques permettent aux utilisateurs d'aligner rapidement et avec précision le réticule sur la plaquette, assurant ainsi un profil d'exposition uniforme et des résultats reproductibles. Avec une unité de focalisation réglable et un alignement automatisé des plaquettes, la machine est sûre de faciliter un flux de travail fluide et efficace dans tout processus de microfabrication.
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