Occasion AXCELIS / FUSION M 150PCU #9391701 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 150PCU est un équipement d'exposition de pointe conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise des composants optiques haut de gamme et des capacités de balayage avancées pour fournir une résolution et une précision supérieures pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs très complexes. Le système se compose d'un ensemble de lentilles, d'un scanner, d'une source lumineuse, d'un contrôle d'exposition et de composants de suivi des plaquettes. L'ensemble objectif fourni avec l'unité est un achromat optimisé avec un astigmatisme statique faible, une excellente correction de couleur et une haute résolution. Il a une ouverture efficace de 200 mm et un double chemin optique, ce qui lui permet de délivrer jusqu'à 201 mm de surface totale de projection. Le scanner est composé d'un bras de balayage multi-axes, d'une caméra de balayage à fente de haute qualité et d'un détecteur IR. Ses caractéristiques avancées permettent le balayage rapide et l'acquisition de divers niveaux d'exposition et emplacements de plaquettes. Le contrôle d'exposition a des réglages réglables qui peuvent contrôler avec précision le temps d'exposition, la posologie, la taille du patter et le taux de numérisation. De plus, la machine est équipée d'un outil de suivi rapide des plaquettes capable de tracer jusqu'à 180 plaquettes par heure avec une précision de répétition de 0,5 mm. L'actif intègre également une source lumineuse à haute puissance capable d'exposer plus de 8 000 wafers par heure. La source lumineuse se compose d'un réseau programmable d'émetteurs et d'un réflecteur avec des réglages réglables pour la longueur d'onde et le type d'émission. Ceci permet une exposition optimale des dispositifs semi-conducteurs. Enfin, le modèle est également capable de contrôler avec précision la température des plaquettes avec une plage de température de 4-40 ºC. Cela garantit que le processus d'exposition est uniforme, éliminant les défauts dus aux gradients thermiques. FUSION M 150PCU est un outil puissant pour l'industrie des semi-conducteurs, permettant aux entreprises de fabriquer des appareils plus complexes et de haute qualité avec plus de précision et d'efficacité. Ses caractéristiques avancées, associées à son design robuste et à son facteur de forme compact en font l'un des systèmes d'exposition les plus fiables et polyvalents disponibles sur le marché aujourd'hui.