Occasion AXCELIS / FUSION M 200 PC #9266271 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 200 PC est un équipement de pointe d'exposition aux plaquettes de haute précision conçu pour le développement de produits, le prototypage et les lignes de production. Le système dispose d'un microscope d'exposition de haute précision à ouverture variable avec une résolution maximale de 20 μ m/1 μ m sur un champ de vision de 95 x 95 mm. L'unité est conçue pour des applications telles que la lithographie, l'emballage avancé, le MEMS, les photovoltaïques à couches minces et les biomèmes. Les grands sous-systèmes mécaniques de la machine assurent des fonctions d'alignement automatique des plaquettes en ligne, de focalisation des plaquettes et de conversion de format. L'alignement automatisé des plaquettes, couplé à une commande de focalisation en boucle fermée et à des capacités de large portée, fournit précision et répétabilité dans l'alignement de plusieurs plaquettes. Un outil intégré de manutention des plaquettes comprend toutes les cassettes, gousses de plaquettes, substrats plats et inclinés, plaquettes avec un grand nombre de bosses, tresses et collage eutectique, et MEMS à l'intérieur de l'emballage sous vide. L'actif dispose également d'une conception de scanner économisant de l'espace, permettant l'intégration d'une plaquette de 400 mm pour le développement de processus. Le sous-système optique du scanner met l'accent sur les performances par rapport aux coûts afin d'obtenir la plus haute résolution et la plus grande précision disponibles dans les équipements disponibles sur le marché. L'optique, composée d'une diode laser à impulsions courtes de grande puissance, d'une lentille étanche à l'environnement et d'une optique de réduction de champ, fournit une intensité lumineuse pouvant atteindre 200 mW/cm2 avec une bande passante spectrale étroite. FUSION M200PC est conçu pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs pour des gaufres à haut rendement, peu coûteuses et sans défaut. Une fonction de calibration de la vision dans le modèle et un équipement de contrôle avancé de l'espaceur de plaquettes augmentent le temps de cycle et les rendements grâce à une meilleure flexibilité du processus et au suivi des plaquettes. De plus, un fonctionnement flexible et compatible avec l'application assure une rétroaction continue sur les erreurs récupérables, et un nettoyage laser automatique élimine la contamination des particules et augmente les rendements. Le système comprend également un logiciel intuitif centré sur l'utilisateur permettant de contrôler l'ensemble de l'unité, y compris l'exposition à la lumière avant le dépôt. Grâce à une interface utilisateur intuitive glisser-déposer, les utilisateurs peuvent concevoir leurs tâches de lithographie, contrôler les paramètres et surveiller le processus en temps réel. Le logiciel comprend également un journal d'exposition avec une base de données in-machine pour stocker et afficher les tâches passées. Globalement, AXCELIS M200 PC offre des performances précises et répétables et une répétabilité inégalée sur une variété de formats de plaquettes, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs. C'est l'outil parfait pour le développement et la production de processus, où les changements rapides et l'enregistrement de données à bord produisent des rendements élevés et d'excellents résultats.