Occasion AXCELIS / FUSION M 200 PCU Polo #9258174 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 200 PCU Polo est un équipement d'exposition de haute précision. Il utilise une configuration de type microscope, où un réticule est monté sur un étage x-y et une plaquette est utilisée pour capturer l'image. Le réticule est placé sur l'étage x-y et aligné avec la plaquette. Le réticule est ensuite déplacé dans les directions x et y sous le microscope pour le positionner en vue d'une exposition. Le système est conçu pour fournir des expositions précises et répétables avec une excellente résolution. Ses optiques haute résolution capturent avec précision le réticule, ce qui lui permet de fournir des expositions précises à de faibles niveaux. Cette unité dispose également d'un étage de plaquette motorisé qui peut présenter avec précision la plaquette au réticule afin d'assurer une précision d'exposition et une répétabilité maximales. FUSION M200 PCU POLO dispose d'un contrôleur de mouvement numérique qui permet un contrôle précis des positions de l'étage x-y et des plaquettes. Il est capable de délivrer des temps d'exposition de millisecondes à heures, ainsi que des doses d'exposition qui varient de quelques nanogrammes à milligrammes, et peut maintenir les expositions dans ± 1 %. En outre, il offre une large gamme de sources lumineuses telles que LED, Krypton, Mercury Arc, et les lampes DUV, ainsi que des options de filtre comme le réglage en bande étroite et les filtres anti-réflexion. La machine d'exposition dispose également de plusieurs caractéristiques de sécurité. Il offre un alignement automatique des bords des plaquettes avec des algorithmes de détection automatique des bords et un outil de sécurité indépendant. Cela garantit un alignement précis du réticule avec un potentiel minimal pour endommager la plaquette ou le réticule. Il dispose également d'une détection automatique du mouvement du réticule et arrête l'exposition et retire le réticule rapidement en cas de déplacement involontaire. Enfin, AXCELIS M 200 PCU-POLO est équipé d'un actif d'enregistrement de données. Ce modèle enregistre le temps et la dose d'exposition en temps réel et peut être utilisé pour le contrôle des processus et l'analyse des défauts. Il peut également enregistrer la position, la température, l'humidité et d'autres conditions environnementales pour assurer même l'exposition et la répétabilité du processus. Dans l'ensemble, AXCELIS M200 PCU POLO est un équipement d'exposition avancé et robuste capable de fournir des expositions répétables et précises avec une résolution supérieure. Ses caractéristiques de sécurité offrent un niveau de protection supplémentaire et ses capacités d'enregistrement des données garantissent une journalisation précise pour le contrôle des processus et l'analyse des défauts.