Occasion AXCELIS / FUSION M 200 PCU #293824586 à vendre en France

ID: 293824586
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AXCELIS/FUSION M 200 PCU (Product Containment Unit) est un équipement d'exposition conçu pour fournir des capacités de confinement maximales dans la production de semi-conducteurs. Le système est équipé d'une vanne de porte de pointe réglable qui isole l'espace de travail du PCU du reste de l'environnement de production. Cela garantit que seuls le gaz et les produits chimiques les plus purs sont présents dans l'espace de travail, garantissant un environnement de travail propre et sûr. FUSION M200PCU est soigneusement construit avec une chambre de confinement fixe, une fenêtre de vision réglable et un four à faible masse thermique, qui sont tous organisés en fonction des besoins spécifiques de l'utilisateur. La fenêtre de visualisation réglable est conçue pour augmenter la visibilité du fonctionnement interne de l'unité. Le four à faible masse thermique est conçu pour assurer une performance thermique constante et une précision de transfert de chaleur à chaque réglage de température. AXCELIS M200 PCU utilise un filet à quartz, recouvert d'une structure de support en aluminium, pour absorber les émissions radiantes UV de courte et de longue longueur d'onde du substrat, le protégeant ainsi de l'oxydation et de la contamination. Le filet à quartz aide également à réguler l'homogénéité de la cure lors du processus de polymérisation, permettant la production de semi-conducteurs aux propriétés performantes. M200 PCU est complété par une variété d'options, y compris un revêtement de systèmes microélectromécaniques (MEMS), un CVD amélioré par oxyde de silicium et plasma, et une ligne de gaz à haut débit/faible débit. Les ressources en couches minces revêtues de MEMS assurent un contrôle fin et une uniformité sur les couches ultra minces pendant le processus de production des semi-conducteurs. Le CVD renforcé par l'oxyde de silicium et le plasma permet d'optimiser la production de lithographie fine et de meilleures performances de revêtement antireflet de fond (BARC). AXCELIS M200PCU est conçu pour répondre aux exigences les plus strictes en matière de confinement et est alimenté par la technologie de l'environnement. Ce logiciel est utilisé pour protéger la machine contre les violations potentielles, telles que les tentatives d'accès non autorisées et la manipulation de paramètres de processus. Cela garantit un outil sûr et sécurisé, tout en étant simple à utiliser, en aidant à protéger le personnel, en minimisant les coûts et en maintenant la qualité.
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