Occasion AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9095387 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 200 PCU est un équipement complet configurable d'exposition des plaquettes de semi-conducteur offrant le masquage EUV de la plus haute précision et de la plus haute qualité pour les technologies de pointe des dispositifs de semi-conducteur. Conçu pour 8 ", 12" et jusqu'à 16 "wafer tailles, le système dispose d'une grande table de masque innovante avec un mouvement de transfert lisse - offrant une stabilité et une précision sans précédent dans l'écriture du masque. FUSION M200PCU est conçu pour accélérer la productivité du masque grâce à la capacité de débit du masque haut de gamme et aux capacités de callibration de nouvelle génération. Il dispose de quatre axes de balayage : x, y, thêta et z, pour améliorer la précision et la stabilité d'écriture du masque en présence de dérive thermique. Le PCU permet une optimisation rapide et des corrections globales de recouvrement avec des champs d'exposition sélectionnés par l'utilisateur, ainsi que la vitesse et la résolution de balayage spécifiables par l'utilisateur, permettant l'alignement de précision de recouvrement. AXCELIS M200 PCU offre une interface utilisateur graphique conviviale et intuitive. Le contrôleur intégré comprend des outils logiciels pour l'analyse de la qualité de l'image, la correction adaptative, l'optimisation et le contrôle accru des fonctions de l'unité. La machine peut également être intégrée à un outil d'inspection de masque ASTA, permettant aux utilisateurs de surveiller, mesurer et corriger tous les champs de masque exposés avec un haut degré de précision et de contrôle. L'outil PCU utilise un atout optique haute performance d'éclairage laser avec une stabilité du faisceau optique supérieure et des capacités d'adaptation de puissance. Il dispose également d'une unité de distribution de faisceau multi-fentes à grand champ, permettant un éclairage uniforme sur l'ensemble du champ de masque. Le module intégré de mise en forme dynamique des faisceaux offre une reproduction supérieure et tranchante des caractéristiques complexes de la structure du masque. Les accessoires de scanner d'exposition en option peuvent être incorporés pour des excursions avec une résolution maximale de 0,25 um. M-200 PCU est équipé d'un modèle d'étage de haute précision, à commande thermique, masque et wafer avec un mandrin de wafer chauffé pour un contrôle de processus optimisé. L'équipement comprend également une armoire à azote pulsé pour minimiser la contamination, un ensemble d'étapes mécaniques de haute performance offrant une grande stabilité tout au long du processus d'exposition, et un système de purification de l'air qui élimine les effets nocifs potentiels de la poussière. AXCELIS/FUSION M-200 PCU est une unité très polyvalente, capable de produire des masques de qualité supérieure avec des capacités de débit élevées, tout en fournissant le maximum de précision, d'uniformité et de contrôle des processus. C'est vraiment une solution idéale pour les applications de masquage des semi-conducteurs les plus avancées et les plus exigeantes.