Occasion AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9145259 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 200 PCU est un équipement d'exposition de pointe conçu pour les applications de revêtement photorésist et de cuisson. Ce système assure la cohérence du processus de revêtement, de cuisson, de post-cuisson et de gravure. Sa technologie de pointe assure un contrôle précis et répétable, une meilleure reproductibilité en production et des performances fournies. Ses composants avancés comprennent une chargeuse robotisée en plaquette, une unité de convoyage montée sur plate-forme, un air à température contrôlée et un moteur d'entraînement à vitesse variable. Le chargeur robotique wafer dispose d'une machine de vision embarquée pour assurer la précision de la fente à la manipulation des plaquettes. L'outil de convoyage dispose d'un gabarit réglable qui permet un transfert et un placement précis de la plaquette à la plaquette avec une interaction manuelle minimale. Les régulateurs de température et d'humidité assurent des conditions de température et d'humidité uniformes pour réduire les défauts. Le moteur à vitesse variable peut être réglé pour un contrôle précis et répétable des opérations d'exposition, de cuisson et de gravure. FUSION M200PCU dispose d'un four à cuisson standard avec un atout air chauffé de recirculation. Ce four supporte l'exposition au wafer pour les procédés N7, HMBCD et HOLEMASK/SATICIDE. Le four est également équipé des derniers contrôles d'optimisation porte/programme pour assurer l'uniformité et la performance optimale du processus. Le modèle comprend également un plénum d'échappement qui élimine toute accumulation gazeuse inutile. L'équipement dispose également d'une station de revêtement de film à hauteur variable qui automatise le dépôt de résine photosensible sur les substrats de plaquettes. Cette station est équipée d'une technique brevetée de pulvérisation d'air, qui fournit un revêtement d'épaisseur uniforme et précis des films de résines photosensibles pour obtenir des résultats optimaux. Le système offre également un support facultatif pour les opérations d'exposition aux plaques chaudes, aux bakeplate et aux UV. AXCELIS M200 PCU est une unité d'amélioration des performances hautement efficace avec une technologie de pointe et un support pour diverses opérations d'exposition. Cette machine garantit des résultats précis et reproductibles, offrant une meilleure efficacité opérationnelle, une meilleure reproductibilité et des performances globales supérieures.