Occasion AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9284344 à vendre en France

AXCELIS/FUSION M 200 PCU est un équipement d'exposition entièrement automatisé conçu avec la productivité et le débit de production à l'esprit. Ce système est conçu pour traiter des plaquettes de 200 mm de diamètre. L'unité est composée d'un étage X-Y de haute précision et d'une machine de commande de mouvement, d'un générateur de motifs haut de gamme, d'un éclairage multispectral et d'une optique UV avancée. L'étage de plaquettes a une résolution de 2,5 nanomètres. Cette précision permet une impression rapide et précise de motifs complexes. Cet outil offre de nombreuses fonctionnalités pour maximiser la productivité. Il comprend un générateur de motifs avancé appelé Protec PU, qui peut générer des motifs à la volée avec une mémoire maximale de 40 mégaoctets. L'actif est également livré avec un modèle optique avancé qui fournit un éclairage uniforme stable avec un décalage automatique de zéro, ainsi que des capacités de surchauffe jusqu'à 270nm. L'équipement est également livré avec Astra, un outil d'inspection intégré qui permet l'inspection automatisée des plaquettes après exposition. Un système de métrologie de vision et un logiciel de cartographie 3D sont inclus pour la visualisation des motifs imprimés. L'unité a un débit de plaquettes allant jusqu'à 1200 plaquettes par heure et est capable de traiter jusqu'à 500 motifs par heure selon la complexité de la couche. Il est intégré et fourni avec une bibliothèque étendue pour les scripts d'optimisation, les recettes de processus et les modèles de simulation. Enfin, la machine est très fiable et comprend des autodiagnostics, ainsi que plusieurs fonctionnalités pour se prémunir contre les erreurs. FUSION M200PCU est un outil extrêmement polyvalent et puissant pour la fabrication de plaquettes. Sa flexibilité, sa précision et son haut débit le rendent idéal pour la production de semi-conducteurs et la lithographie. Avec ses caractéristiques haut de gamme et ses performances fiables, cet outil peut considérablement augmenter la productivité et réduire considérablement les coûts de production.