Occasion AXCELIS / FUSION Microlite 200 PCU #9095471 à vendre en France

AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCU est un équipement d'exposition sophistiqué conçu pour faciliter la manipulation et la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le système utilise un étage de réticule personnalisable qui supporte plusieurs réticules avec des matériaux de substrat variés, et fournit des performances répétables pour le positionnement et l'alignement. Le contrôle de balayage est optimisé pour le fonctionnement à faible bruit et a la capacité de fonctionner dans une variété de taux de balayage. FUSION Microlite 200 PCU offre un alignement à deux faisceaux, ce qui offre un haut niveau de précision lors de l'alignement et réduit le temps d'alignement. Les principales caractéristiques de l'unité comprennent un réglage précis de l'ouverture numérique, un moteur pas à pas et un moteur de tête d'engrenage pour la focalisation et le positionnement, et l'optimisation dynamique de la vitesse de balayage et de la stabilisation optique. L'alignement des photomasques est piloté par une machine de focalisation en temps réel, qui est intégrée à un étage de réticule piloté par ordinateur. Il utilise deux moteurs optiques indépendants, qui fournissent une grande précision et précision pendant le processus d'alignement. L'outil est capable d'enregistrer avec précision les caractéristiques, même à une vitesse de balayage de plus de 1000 cycles par seconde. Le Photomask Changer est un actif entièrement automatisé, qui peut rapidement indexer et basculer entre les différents ensembles de photomasques. AXCELIS Microlite 200 PCU dispose d'un capteur de franges multi-positions (MPS) avec 4 têtes de capteurs. Cela ajoute un niveau de précision au processus d'alignement en permettant un alignement fin du réticule avec la grille de recouvrement. Il permet également l'alignement de plusieurs caractéristiques en même temps, ce qui augmente encore le débit et la productivité. L'unité de sélection des réticules (RSU) fournit un alignement précis et à faible bruit des réticules, et le moteur pas à pas et le moteur de la tête de vitesse fournissent une focalisation et un positionnement précis. En outre, l'AXCESMicrolite 200 PCU dispose d'une solution de refroidissement efficace, qui donne au modèle la capacité de manipuler différents substrats et matériaux. Un équipement de surveillance à distance est également prévu, permettant une collecte efficace des données sans intervention manuelle. Le système permet également une configuration rapide avec plusieurs modules qui peuvent être facilement installés. En conclusion, AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCU est une unité d'exposition avancée qui offre une variété de fonctionnalités conçues pour rendre le processus de fabrication des semi-conducteurs plus efficace et précis. La machine offre un alignement à double faisceau, un réglage précis de l'ouverture numérique, des capteurs MPS pour un alignement précis, et un capteur de frange multi-position (MPS) pour un alignement finement détaillé et précis de la grille de recouvrement. L'outil dispose également d'une solution de refroidissement efficace pour la manipulation de différents substrats et matériaux. L'actif est également équipé d'une multitude de fonctionnalités d'automatisation qui augmentent la productivité, réduisent le temps d'alignement et fournissent une collecte de données efficace.