Occasion AXCELIS / FUSION PS3 #293742986 à vendre en France

L'équipement d'exposition AXCELIS/FUSION PS3 est une machine de photolithographie avancée conçue pour le traitement avancé des semi-conducteurs. Utilisant une source d'ions fiable, FUSION PS3 fournit des expositions très précises et cohérentes des caractéristiques des appareils dans divers matériaux de substrat et géométries de conception. Prenant en charge les processus photorésist et non-photorésist, le système offre une résolution et une cohérence améliorées par rapport aux processus lithographiques traditionnels. La plate-forme dispose d'un scanner linéaire de résolution de 10 microns, avec une vitesse maximale de 2000 lignes/seconde. Un grand champ de vision et une vitesse de balayage rapide permettent un transfert rapide des motifs de l'appareil tout en produisant des détails de fonctionnalités supérieurs. En outre, AXCELIS PS 3 offre un débit amélioré grâce à sa conception de plate-forme hautement flexible et configurable. Son chargeur à cassette robotique optimise la production de dispositifs multiples, tandis qu'une unité automatisée de contrôle de l'exposition ajuste les temps d'exposition en conséquence pour assurer une répétabilité continue et une grande uniformité. La machine de transport optique de précision PS3 permet une focalisation précise sur toute la surface du substrat pour des rapports d'aspect élevés et une uniformité accrue. Son outil de contrôle actif atténue les problèmes d'alignement optique et de distorsion, ce qui permet d'obtenir des résultats de traitement très précis. La technologie d'alignement et de mesure des photomasques de haute sensibilité et de haute précision de la plate-forme lui permet également de traiter des caractéristiques même complexes. Doté d'une tolérance d'alignement efficace de 10nm, d'un rapport signal/bruit élevé et d'un signal d'alignement de basse résolution, l'actif transfère avec précision les informations relatives aux fonctions minutes. Dans l'ensemble, AXCELIS PS3 fournit des capacités avancées de traitement des appareils pour la production de semi-conducteurs à haut volume et avancés. Avec la capacité d'imprimer avec précision les petites caractéristiques et les modèles, le modèle assure une précision et une répétabilité élevées, conduisant à des rendements de produit élevés. Il est très flexible, configurable et précis, ce qui en fait une plate-forme puissante pour le traitement avancé des appareils.