Occasion AXCELIS / FUSION PS3 #9228099 à vendre en France

AXCELIS/FUSION PS3 est un équipement d'exposition avancé utilisé pour les procédés de photolithographie dans l'industrie des semi-conducteurs. FUSION PS3 est une unité de pointe qui améliore les capacités traditionnelles de photolithographie DUV en offrant une résolution plus élevée, une meilleure reproductibilité et un débit plus rapide. AXCELIS PS 3 dispose d'une gamme complète de fonctionnalités conçues pour améliorer les résultats finaux des processus de photolithographie. La machine utilise une variété de configurations d'outils pour permettre un alignement précis couche à couche et une capacité de balayage de plaquettes multi-champs et multi-champs. Le scanner à grande vitesse, à haute résolution de PS3 et les capacités de production peuvent produire des gaufrettes jusqu'à la grandeur de terrain 500 x 500 mm avec 0,17 résolution μm. En outre, AXCELIS PS3 supporte une large gamme de substrats de plaquettes sensibles pour les processus les plus avancés. La fonction de compensation de l'inclinaison du substrat numérique de l'outil permet une imagerie rapide et précise des plaquettes tandis que les systèmes avancés de suivi et de contrôle de l'exposition des plaquettes assurent un alignement cohérent des plaquettes. Les systèmes de traitement avancés d'AXCELIS/FUSION PS 3 offrent différents choix pour les matériaux, la résistance, la vitesse de balayage, la réduction de tir et l'amélioration des gravures. Les sélections d'outils et les combinaisons de matériel et de logiciels peuvent être adaptées en fonction des exigences du processus. L'actif de chargement de wafer de FUSION PS 3 offre une flexibilité accrue pour répondre aux besoins de haut débit. En outre, une variété de paquets optiques de haute précision sont disponibles pour donner aux clients la plus grande précision de traitement. Le modèle PS 3 est couvert par une gamme complète de programmes de service et de soutien pour assurer la continuité des processus du client. L'entretien préventif, la réparation du matériel, la livraison des pièces de rechange et la formation technique font tous partie de l'ensemble des services. En outre, FUSION fournit une solution rapide aux demandes des clients. Dans l'ensemble, le système d'exposition avancée AXCELIS/FUSION PS3 est un excellent outil pour le traitement des applications de photolithographie. Combinant les plus hautes performances avec la dernière technologie, FUSION PS3 fournit les solutions de photolithographie les plus avancées et les plus fiables.