Occasion AXCELIS / FUSION PS3 #9230281 à vendre en France

AXCELIS / FUSION PS3
ID: 9230281
Taille de la plaquette: 12"
UV Cure system, 12" Dual chamber.
AXCELIS/FUSION PS3 est un équipement d'exposition avancé, performant et rentable qui est utilisé dans la fabrication et la fabrication de composants de haute technologie tels que les plaquettes semi-conductrices et les circuits intégrés. Ce système prend en charge la fabrication de technologies de pointe et est construit sur des siècles d'optique, de métaux et de conception de machines de précision pour atteindre des performances de pointe. FUSION PS3 se compose d'une série de composants comprenant une source lumineuse, un étage réticulaire, une lentille, une caméra, un masquage et un point de motif. La source lumineuse, soit un laser à mercure ou à argon, émettant une gamme de longueurs d'onde allant de 365 à 436 nanomètres, est utilisée pour projeter un motif contrôlé sur l'étage réticulaire. Un réticule est un masque qui est utilisé pour exposer un motif défini sur la plaquette. Le réticule est maintenu dans un cadre à vide de sorte que le motif ne se déplace pas par rapport au substrat en cours d'ébauche. La lentille capte la lumière émise par le laser et la dirige vers l'étage réticulaire. Cette lentille est typiquement en silice fondue et est conçue pour fournir un champ de vision plat de sorte que le motif soit formé avec précision. La caméra est utilisée pour inspecter l'objectif et le réticule, tandis que l'unité de masquage s'assure que tous les paramètres du processus sont respectés. La couture du motif permet de déterminer avec précision la position de chaque motif à travers la plaquette. Outre les composants d'AXCELIS PS 3, cette machine comprend un contrôleur prédictif qui utilise une gamme d'algorithmes sophistiqués pour optimiser le processus. Ce contrôleur surveille constamment les performances de l'outil et ajuste les paramètres pour assurer les meilleurs résultats. De plus, l'actif dispose d'une fonction de sécurité intégrée qui ferme le modèle en cas d'erreur de processus. AXCELIS PS3 est capable de produire une large gamme de motifs avec une grande précision et répétabilité. Cet équipement peut être utilisé pour un large éventail d'applications telles que la lithographie, la gravure, la photolithographie et l'amélioration du plasma. En outre, AXCELIS/FUSION PS 3 est capable d'effectuer la cartographie des plaquettes, l'inspection des défauts et les essais diélectriques. Ce système offre une gamme de fonctionnalités avancées, y compris un moteur de reconnaissance de motifs à haut débit et un enregistreur de données à plusieurs niveaux avec archivage automatique des données. Cette unité comprend également une série d'outils logiciels pour contrôler, surveiller et analyser le processus d'exposition. Dans l'ensemble, PS 3 est une machine d'exposition fiable et puissante qui peut être utilisée dans une variété d'industries et d'applications. Sa précision, ses performances et son bon rapport coût-efficacité en font un choix intelligent pour les applications haut de gamme qui nécessitent un contrôle et une précision avancés des processus.
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