Occasion AXCELIS / FUSION PS3 #9240662 à vendre en France
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ID: 9240662
Taille de la plaquette: 12"
UV Cure system, 12"
Process: UVH
PM1: HS (Missing PC, PS)
PM2.
AXCELIS/FUSION PS3 est un équipement d'exposition conçu pour fournir des capacités d'exposition lithographique standard de l'industrie. Ce système est le successeur de la plate-forme FUSION, qui offre plusieurs améliorations et améliorations significatives. Cette unité utilise la technologie de balayage laser de pointe pour fournir une résolution supérieure et des motifs très serrés et reproductibles. Il a des dimensions réglables allant de 4 microns à 10 microns. Il dispose également d'un laser de grande puissance avec une puissance de sortie allant jusqu'à 2000 watts, permettant des expositions plus rapides ainsi qu'un débit plus élevé. La machine dispose d'un grand pont mécanique fin pour couvrir un large éventail de champs d'exposition, jusqu'à 12 pouces. Ce pont est livré avec une variété de supports réglables pour les masques lithographiques, y compris BGA, LGA et masques de spécialité. L'outil dispose également de plusieurs types et tailles de couvercle pour accueillir de plus grands substrats. L'actif FUSION PS3 dispose de conceptions avancées de buse qui sont conçues avec un accent sur l'amélioration de la précision des dimensions et des vibrations minimales. Cela garantit une précision supérieure dans la fixation des substrats, tout en offrant un environnement plus sûr avec des niveaux de bruit plus faibles. De plus, le modèle offre une grande variété d'options d'exposition, y compris des options de faisceau focalisé, de réflectivité et de recouvrement. Cette variété permet aux utilisateurs de répondre avec précision à leurs besoins d'exposition, tout en améliorant la vitesse et le débit. Enfin, mais ce n'est pas le moins important, cet équipement est également livré avec une suite complète d'outils logiciels pour maximiser ses capacités. Le logiciel groupé fournit des capacités d'analyse qui permettent aux utilisateurs d'identifier et de supprimer les défauts de motif tout en effectuant des correspondances de projection avec les données de conception. Il dispose également de capacités de reconnaissance automatique des défauts qui aident à assurer la qualité des motifs du substrat, réduisant le risque d'erreurs coûteuses et de retravaillement. Globalement, AXCELIS PS 3 est un système puissant et fiable conçu pour les besoins d'exposition lithographique moderne. Cette unité pourrait être une solution idéale pour des procédés tels que l'emballage avancé, la fabrication de dispositifs à haut nombre de broches et la fabrication de dispositifs biomédicaux.
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