Occasion AXCELIS / FUSION PS3 #9241297 à vendre en France
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ID: 9241297
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
UV Cure system, 12"
2005 vintage.
AXCELIS/FUSION PS3 est un équipement d'exposition conçu pour être utilisé dans le processus de photolithographie pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable d'exposer des caractéristiques aussi petites que 0,25 microns et jusqu'à un pouce de diamètre. Le système FUSION PS3 fusionné comprend un ordinateur hôte puissant qui contrôle le fonctionnement de la machine, ainsi qu'une source de lumière UltraViolet (UV) et des étages de précision. La source lumineuse de l'unité d'exposition est une lampe à arc qui émet de la lumière UV. La machine dispose d'un balayage rapide, d'un capteur UV précis pour mesurer l'intensité de la source lumineuse, et d'un contrôle précis du positionnement des étages mobiles pour un alignement précis du masque et de la plaquette exposés. L'outil a une vitesse de balayage maximale de 30ms par cycle et une précision Z-stepper de 0,3 microns. Le jeu de fonctionnalités d'AXCELIS PS 3 permet une fabrication rapide et précise des dispositifs semi-conducteurs. Grâce à son positionnement précis intégré et à une gamme de modes de fonctionnement, les utilisateurs peuvent composer les paramètres exacts nécessaires pour maintenir un haut débit tout en assurant la fidélité des fonctionnalités. L'actif d'exposition dispose d'un contrôle complet du processus, avec rétroaction de la plaquette via un modèle interne de contrôle de la qualité, qui permet un contrôle étroit sur l'ensemble du processus de fabrication. L'équipement est configurable pour automatiser une variété de processus uniques tels qu'une plaquette exposée avec deux ou plusieurs masques différents. Le système d'exposition AXCELIS/FUSION PS 3 est conçu pour être utilisé dans une grande variété de procédés de photolithographie dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Son puissant ordinateur hôte permet un contrôle précis de l'ensemble du processus, tandis que son balayage à grande vitesse, son capteur UV précis et ses positionneurs d'étages ultra précis permettent une fabrication rapide et précise des appareils.
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