Occasion AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC #9273833 à vendre en France

AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC est un équipement d'exposition haut de gamme de nouvelle génération conçu pour faciliter le développement de procédés semi-conducteurs avancés. Le système est doté d'un mandrin de plaquette de 320 mm de diamètre, à vitesse variable et d'une unité d'alignement de plaquette de haute précision, permettant de réaliser des conceptions très fines sans nécessiter de procédures de post-traitement complexes et coûteuses. Équipé d'une source laser UV profonde de la famille Xpress (ou de la tête d'éclairage) et d'un design d'illuminateur unique pouvant accueillir à la fois des lentilles asphériques personnalisées et un éclairage éclairé, FUSION RapidCure 320FC est l'outil parfait pour le développement de nœuds de processus de moins de 20nm. Sa machine d'alignement de plaquettes de haute précision garantit que même de très petites caractéristiques s'alignent correctement. Le RapidCure offre une excellente uniformité d'exposition sur toute la surface, avec une variance de moins de 1 % dans le temps d'exposition et la dose. L'outil utilise deux filtres, permettant des solutions différentes selon les exigences du processus, et son contrôle de dose très précis assure des résultats à jour pour chaque étape de traitement. AXCELIS RapidCure 320FC dispose également d'une entrée/sortie numérique avancée I/O pour contrôler la hauteur de la focale, ce qui permet en outre de réaliser des profils de mouvement pas à pas complexes et répétés en combinaison avec l'imagerie. L'actif intègre simultanément une source de plasma statique et une vanne de grille à commande précise pour un environnement de chambre uniforme. Le processus de durcissement rapide garantit que l'ensemble de résines photosensibles est complété de manière cohérente à chaque fois, prolongeant la durée de vie des plaquettes et des masques utilisés dans le processus. Le modèle de refroidissement intégré assure de faibles fluctuations thermiques et une grande stabilité d'utilisation prolongée. Enfin, RapidCure 320FC est capable de traiter les simulations et le calibrage OPC avec ses capacités d'interface avancées et le support de divers fournisseurs d'outils d'exposition. Avec une combinaison de recettes automatisées, de vérification de processus d'exposition en direct et d'outils de rapport avancés, RapidCure offre les dernières capacités de développement de processus.