Occasion AXCELIS / FUSION Summit XT #293627840 à vendre en France

AXCELIS/FUSION Summit XT est un équipement d'exposition avancé conçu pour la lithographie. Il est idéal pour des applications telles que la fabrication de circuits intégrés à mémoire et logique avancés et d'autres procédés de lithographie de haute précision. Le système est conçu pour une efficacité et une flexibilité maximales, permettant à l'utilisateur d'optimiser ses processus pour le dispositif ou la plate-forme spécifique. L'unité dispose d'un multicanal, haut de gamme, 4kWxtal produit d'optique. Cela permet des performances avancées sur plusieurs longueurs d'onde et angles de polarisation. La machine dispose également d'un contrôle de balayage total et d'un contrôle d'exposition automatique avancé, permettant un contrôle précis et précis des sections et des expositions des plaquettes. L'outil dispose également de capacités automatisées d'alignement et d'étalonnage des sources et est intégré à un logiciel de contrôle des processus qui permet d'optimiser la performance des actifs et d'augmenter les temps de débit. FUSION Summit XT est un modèle intégré, doté d'un étage porte-air breveté et d'un port de chargement automatisé. Cela permet un fonctionnement à l'étage de haute précision et en douceur, ainsi qu'un débit et une répétabilité élevés. L'équipement comporte également plusieurs configurations de substrat, dont jusqu'à huit substrats par chambre, deux substrats actifs et jusqu'à 128 étapes par exposition et un biais de bord de tranche de + -15. Cela lui permet de répondre efficacement à un large éventail de besoins des utilisateurs, d'une seule couche à des applications de traitement multicouches. AXCELIS Summit XT est livré avec un logiciel complet offrant une gamme complète de fonctionnalités et de fonctionnement. Cela comprend une multitude de fonctions de sécurité, y compris le contrôle complet des processus, la maintenance du système et la gestion des données. Dans le cadre de cet ensemble, l'unité comprend un ensemble d'outils avancés pour simplifier et rationaliser le fonctionnement de la machine. Il s'agit notamment de la programmation et de l'étalonnage simples des substrats, de la mise en place rapide et de l'accès aux données de travail, du stockage complet des données des plaquettes avec cartographie ligne par ligne, du suivi et du contrôle automatisés des processus, etc. Dans l'ensemble, Summit XT outil d'exposition avancé offre des performances et des capacités supérieures pour les besoins de prototypage et de traitement de la production. Avec une optique avancée et des logiciels intégrés, l'atout permet aux utilisateurs de personnaliser leurs processus à leurs utilisations finales souhaitées. En outre, ses fonctions de sécurité complètes garantissent que les données sont protégées et les processus utilisateurs optimisés pour une efficacité maximale.