Occasion AXCELIS / FUSION Summit XT #9107033 à vendre en France

AXCELIS/FUSION Summit XT est un équipement intégré conçu pour l'exposition des plaquettes de précision dans le processus de fabrication des dispositifs semi-conducteurs. Il est composé d'un certain nombre de composants différents, dont un moteur pas à pas ultra haute résolution, une chambre à vide, un ensemble de focalisation et d'alignement, un photomasque, et un robuste système de contrôle robotique. Les systèmes sont capables d'atteindre la conformité des règles de conception de sous-microns pour produire des dispositifs de résolution supérieure. Le moteur pas à pas est un élément important de l'unité, et permet un mouvement de précision du champ d'exposition pour assurer un alignement cohérent et une exposition précise. La haute résolution du moteur soutient la production de structures extrêmement petites, telles que des chemins de circuits, des doigts de contact, et même les plus minuscules des tranchées. La chambre à vide empêche l'air indésirable et les contaminants environnementaux d'entrer dans la machine. Il agit comme une barrière de pression entre l'ensemble d'exposition et l'environnement extérieur, assurant que l'outil reste propre. L'environnement propre est un facteur clé pour obtenir une qualité d'image cohérente ainsi que des résultats répétables sur plusieurs puces. L'ensemble de mise au point et d'alignement est utilisé pour aligner le photomasque et la plaquette avant le processus d'exposition. Cela garantit que les motifs exposés sont précis et précis. L'ensemble permet également de s'assurer que le photomasque est bien aligné par rapport à la plaquette, minimisant les possibilités de désalignement conduisant à des erreurs ou à des fluctuations des caractéristiques du dispositif. Le photomasque contient les motifs qui sont transférés sur la plaquette pendant le processus d'exposition. La précision et la résolution de la conception du masque ont un impact direct sur la qualité des motifs, puis sur les caractéristiques du dispositif. Enfin, l'actif de commande robotique est chargé de contrôler les mouvements du moteur pas à pas et l'ensemble de focalisation et d'alignement pour assurer le fonctionnement prévisible et cohérent du modèle. L'équipement intègre différents mécanismes de rétroaction qui peuvent détecter les erreurs ou anomalies dans le système et réagir automatiquement pour corriger les écarts par rapport au fonctionnement normal. En résumé, FUSION Summit XT est une unité complète conçue pour une exposition précise des plaquettes dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ses composants avancés sont optimisés pour la précision et la fiabilité afin de produire des appareils haute résolution de qualité constante.