Occasion AXCELIS / FUSION Summit XT #9189027 à vendre en France
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AXCELIS/FUSION Summit XT est un équipement d'exposition avancé conçu pour les procédés de lithographie commerciale utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un système entièrement automatisé à 3 axes piloté par des actionneurs moteurs de précision optimisés pour l'imagerie de débit et la définition de couche haute précision. Il dispose d'une unité optique avancée avec un dispositif de projection de 100 watts éclairé par laser et un aligneur de masque motorisé qui est capable de gérer la production à haut et à bas volume. FUSION Summit XT est conçu pour maximiser les processus de photolithographie cristalline à haut volume grâce à l'utilisation d'optiques avancées. Son architecture modulaire permet son intégration dans les infrastructures de production existantes avec une large gamme de modes d'exposition. La machine est équipée de systèmes sophistiqués de contrôle logiciel qui optimisent les performances de l'outil et assurent un fonctionnement fiable et cohérent. Il peut être utilisé pour produire des motifs très complexes avec une grande précision et précision. L'actif optique d'AXCELIS Summit XT lui permet d'exposer des couches d'exposition positives et négatives tout en faisant varier la zone d'exposition d'un minimum de 0,1 um à un maximum de 50 um. Son imagerie de projection lui permet de capturer des images haute résolution, permettant un transfert d'image de meilleure qualité de photomasque à wafer, réduisant les temps de cycle imprimé. En outre, son matériel modulaire et personnalisé, combiné à la capacité de processus automatisés, permet plusieurs processus de wafer dans le même temps, maximisant l'efficacité de production. Cette fonctionnalité permet de pré-programmer et d'automatiser les processus des différentes couches de la plaquette sans intervention de l'opérateur ni reprogrammation. La plate-forme logicielle intégrée de Summit XT comprend des outils de contrôle des processus et d'optimisation des performances tels que le contrôle des processus, la cartographie efficace des doses, l'alignement des plaquettes, le contrôle de la focalisation, la reconnaissance des codes-barres, l'édition de script, la capture d'images, et plus encore. Ce logiciel s'interface avec une large gamme d'outils de lithographie externe associés pour optimiser les performances du modèle et le rendement manufacturé. AXCELIS/FUSION Summit XT comprend également une large gamme de caractéristiques de sécurité pour protéger le personnel et l'équipement ainsi qu'un système de contrôle environnemental avancé pour assurer des conditions d'imagerie supérieures. L'unité peut être adaptée pour répondre à une variété de besoins des clients et est soutenue par un service et un support global. En résumé, FUSION Summit XT est une machine d'exposition avancée et automatisée qui est bien adaptée aux processus de fabrication de produits à haut volume. Il dispose d'un outil optique avancé, personnalisable pour répondre à des besoins industriels spécifiques, et d'une plateforme logicielle robuste. Cet atout est conçu pour optimiser la performance du processus et le rendement manufacturé tout en assurant la sécurité du personnel et le contrôle environnemental.
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