Occasion AXCELIS / FUSION Summit XT #9235774 à vendre en France

AXCELIS / FUSION Summit XT
ID: 9235774
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Rapid Thermal Processor (RTP), 12" 2005 vintage.
AXCELIS/FUSION Summit XT est un équipement d'exposition avancé conçu pour répondre aux besoins spécialisés de l'industrie des semi-conducteurs. Ce système permet la production des microstructures les plus exigeantes et des caractéristiques de l'appareil, avec la plus haute résolution et la précision de recouvrement disponible. Il dispose d'une source de plasma à très haut débit qui permet une vitesse d'implantation ionique jusqu'à 800nm/min et d'une unité d'imagerie inégalée qui permet les plus hauts niveaux de résolution et de précision. Le Sommet de FUSION XT est capable d'exposer un large éventail de substrates, en variant des gaufrettes de silicium en gros aux gaufrettes SynGap™ contenant des nanocouches ultra-minces. La machine comprend un logiciel d'analyse et d'amélioration d'image propriétaire avancé, qui permet de maintenir des tailles de fonctionnalités extrêmement petites tout en assurant le plus haut niveau de planarité de substrat. Il dispose également d'un outil avancé d'automatisation rapide qui offre une répétabilité de haut niveau, permettant aux utilisateurs de s'adapter rapidement aux changements de modèles de fabrication sans sacrifier la précision. L'actif peut être encore amélioré par l'ajout de modules et de grappes supplémentaires, y compris un modèle de distribution de gaz et une source d'excitation plasmatique facultative. AXCELIS Summit XT dispose d'une interface tactile intuitive et conviviale permettant un développement, un fonctionnement et une surveillance des équipements de recette simples et efficaces. Il dispose également d'un disque dur intégré, où les paramètres de recette et les données de journal système peuvent être stockés. En outre, l'unité est équipée d'un processeur de contrôle de machine embarqué, qui permet un contrôle automatisé et en temps réel de l'outil. Cette machine est conçue pour une utilisation dans un environnement de production 24/7, offrant un haut niveau de fiabilité et de robustesse. Il utilise un système de climatisation spécialisé pour maintenir la température et l'humidité requises et est conforme à l'environnement et à l'EDD pour les dispositifs sensibles. Summit XT est la solution idéale pour la production de semi-conducteurs à haut volume. Avec sa résolution d'imagerie à haute vitesse et ses capacités de manipulation des substrats en haut de la ligne, ce modèle est indispensable pour toute installation de fabrication de plaquettes de pointe.
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