Occasion AXCELIS / FUSION Summit XT #9352620 à vendre en France

ID: 9352620
Rapid Thermal Processing (RTP) system.
AXCELIS/FUSION Summit XT est un équipement d'exposition complet et robuste conçu pour fournir des capacités de fabrication de photomasques extrêmement précises et précises. FUSION Summit XT est capable d'exposer une large gamme de photomasques en utilisant une variété de milieux et de longueurs d'onde allant de 248nm (KrF) à 405nm (UV). Il est capable de traiter une variété de milieux allant du quartz au verre en passant par le métal. Le système est doté d'un environnement à six faces, entièrement fermé et isolé des vibrations afin d'assurer la plus haute qualité et la plus grande précision dans les photomasques exposés. Ses capacités de traitement à grande vitesse le rendent adapté aux applications photomasques les plus exigeantes. Une plaquette brevetée et une unité de balayage photomasque permettent une exposition extraordinairement uniforme à travers la photomasque, ce qui réduit le besoin de réalignements coûteux et énergétiques. AXCELIS Summit XT prend en charge une gamme de systèmes d'inspection photomasque de précision, y compris des systèmes d'inspection visuelle, des microscopes et des systèmes de mesure laser. Cela permet d'examiner en détail les bords des photomasques et d'autres caractéristiques critiques qui peuvent affecter la précision du processus d'exposition. De plus, une série d'outils de métrologie de l'exposition est disponible pour surveiller les changements d'exposition et vérifier les performances de la machine. Summit XT a été conçu pour gérer des motifs à très haute résolution et supporte l'exposition avec un haut degré de précision. Sa précision d'alignement de pointe dans l'industrie se traduit par des performances de superposition exceptionnelles et peut améliorer le rendement des procédés de fabrication de photomasques. L'outil supporte une grande variété de formats de résolution, y compris des performances de sous-microns, et sa grande uniformité d'exposition peut améliorer la productivité et réduire les coûts de rebut et de retravaillement. AXCELIS/FUSION Summit XT offre une variété de configurations pour répondre aux besoins de toute application photomasque. Sa flexibilité est conçue pour profiter aux clients qui doivent adapter rapidement leurs processus pour répondre aux exigences changeantes du marché et des processus. FUSION Summit XT est supporté par un vaste réseau de services à distance pour garantir des performances maximales. L'actif présente également les capacités de maintenance et de diagnostic les plus complètes de l'industrie, permettant l'accès à l'information critique du modèle à partir de n'importe quel endroit pour un diagnostic et une réponse plus rapides et plus efficaces. L'équipement est facile à utiliser et son interface graphique intuitive permet à l'utilisateur d'accéder rapidement aux fonctionnalités et fonctions. En outre, une grande variété d'options et de mises à niveau sont disponibles pour aider les clients à personnaliser AXCELIS Summit XT à leurs besoins précis.
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