Occasion AXCELIS / FUSION UV-150PC #9144789 à vendre en France

AXCELIS / FUSION UV-150PC
ID: 9144789
Taille de la plaquette: 6"
UV Stabilizer, 6".
AXCELIS/FUSION UV-150PC est un équipement d'exposition conçu pour fournir des processus de photolithographie efficaces pour la fabrication de dispositifs avancés. En intégrant la technologie d'imagerie de pointe, FUSION UV-150PC est en mesure d'assurer la qualité et la productivité dans la fabrication de photomasques, de semi-conducteurs et d'autres procédés connexes. Le système d'exposition est conçu pour offrir une capacité d'exposition fiable sur une large fenêtre de processus qui répond aux exigences de la photomastique de forme libre avancée. C'est l'unité optimale pour le développement de photomasques de nouvelle génération ainsi que pour des applications telles que les technologies d'amélioration de la résolution (RET) et l'exposition au masque dur. AXCELIS UV-150PC offre une combinaison de fonctions qui améliorent la productivité et le rendement. Sa machine autofocus compense automatiquement les différences topographiques dans un substrat, ce qui améliore la précision et la répétabilité de l'outil d'exposition. Sa technologie autofocus permet de remanier numériquement les données d'exposition pour corriger les défauts mineurs pendant la phase d'exposition. De plus, sa technique d'imagerie de pointe offre une vitesse d'exposition élevée et une uniformité. UV-150PC dispose également d'un actif de gestion thermique intégrée. Avec son modèle intégré de régulation de température, l'équipement d'exposition assure des motifs photomasques cohérents sans clipsage. En outre, son système optique de pointe offre une uniformité spectrale optimisée et offre un excellent parallélisme dans la précision d'exposition tout au long du processus d'exposition. Enfin, son architecture de vide améliorée assure une imagerie stable et une excellente rétention d'image. AXCELIS/FUSION UV-150PC est également conçu pour minimiser l'utilisation des matériaux, et sa technologie de grille optimisée contribue à réduire la production de particules. Il dispose également d'une unité de balayage configurable qui maximise la vitesse de balayage et minimise les artefacts sur la photomasque. De plus, sa machine auto-track entièrement configurable permet un réglage exact des paramètres de focalisation et de dose en fonction des exigences de l'application. FUSION UV-150PC est un outil d'exposition avancé offrant une excellente productivité, précision et efficacité pour divers processus de photolithographie. Son actif d'imagerie de pointe assure des expositions très précises et précises dans un large éventail d'applications, ce qui peut aider à minimiser les déchets matériels et à augmenter les rendements. Son modèle sophistiqué de régulation de température intégré peut fournir une excellente qualité d'image tandis que son architecture de vide innovante assure une stabilité optimale et la rétention d'image. Enfin, ses capacités de balayage à grande vitesse et son équipement auto-track garantissent un débit élevé et des résultats reproductibles.
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