Occasion AXCELIS / FUSION UV LC-6B #9061093 à vendre en France

AXCELIS/FUSION UV LC-6B est un équipement d'exposition ultramoderne de FUSION. Le système a été conçu pour fournir une exposition à la lithographie ultraviolette (UV) de précision afin de maximiser le débit et le rendement. Cette unité est particulièrement bien adaptée aux environnements de production de volume moyen à élevé car elle est très modulaire et évolutive. FUSION UV LC-6B dispose d'une option avancée de configuration et d'alignement, offrant une réduction et une précision supérieures de l'alignement masque-wafer. Cela garantit des coordonnées d'exposition précises et des taux de rendement plus élevés. La machine est très automatisée, permettant une implication minimale de l'opérateur, et est équipée d'un lecteur d'étage de précision pour un emplacement précis de l'exposition. La taille de la chambre est personnalisable et peut accueillir des substrats jusqu'à un diamètre de 200mm. L'outil fournit des performances optiques avancées pour un contrôle précis de l'exposition. Son ouverture réglable aux UV assure une intensité d'éclairage uniforme et des résultats reproductibles. La technologie de réflecteur très avancée favorise une excellente commodité d'encliquetage, élimine les désalignements et réduit les temps de changement. Le balayage de rayon avancé se dirige et s'auto-recentre l'optique réduisent la profondeur focale de variabilité de terrain et d'optimisation minimizeSetup. AXCELIS UV LC-6B est capable d'atteindre des doses d'exposition allant jusqu'à 25 mJ/cm2, garantissant une excellente résolution. Le traitement par lots avancé de l'actif est bien adapté aux situations de grand débit, et peut être configuré sur mesure pour répondre à différentes exigences de substrat ou de dose d'exposition. Un contrôle avancé des processus en ligne assure une répétabilité maximale entre les plaques, tandis que le substrat sans contact breveté et les supports intermédiaires préviennent la contamination. UV LC-6B est conçu pour fonctionner avec une variété de bibliothèques d'automatisation, y compris les bibliothèques MultiFab et Temptronic NxStep. Il s'agit d'une solution fiable et rentable pour l'établissement des motifs et on peut compter sur elle pour obtenir des résultats cohérents. Grâce à sa technologie d'imagerie avancée et à son puissant logiciel de modélisation, AXCELIS/FUSION UV LC-6B est une solution d'exposition idéale pour une production de volume moyen à élevé.