Occasion AXCELIS / FUSION UV #9145265 à vendre en France
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AXCELIS/FUSION UV est un équipement de pointe pour exposer les matériaux ultraviolets (FUSION UV) sensibles à la lumière. C'est une machine de lithographie conçue pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et de plaquettes. AXCELIS UV est une unité de résistance à l'exposition qui utilise une lampe UV avec une optique de projection pour fournir une variété de modèles d'exposition. La puissance de la lampe et l'intensité lumineuse sont réglables pour permettre une exposition précise de la résine photosensible. Il est également équipé d'une chambre de revêtement antireflet (ARC) pour réduire les réflexions de la surface de la résine, ce qui permet une plus grande clarté de l'image. La machine utilise également un pas/scanner automatisé pour assurer une exposition uniforme du substrat. L'outil AXCELIS/FUSION UV est capable de produire des expositions pour une large gamme de photomasques, allant des modèles de petite ou de grande taille avec une grande précision et répétabilité. L'actif est également équipé d'un matcher topographique avancé qui permet de transférer des motifs d'exposition personnalisés directement sur la surface des substrats. Le stepper/scanner assure un transfert de motifs précis et reproductible sur plusieurs substrats. FUSION UV est équipé d'une gamme de caractéristiques de sécurité. Il s'agit notamment de chambres de température et de sécurité pour protéger le personnel du contact avec un rayonnement UV AXCELIS de haute intensité. L'équipement de verrouillage de sécurité est conçu pour arrêter instantanément le système si le personnel exposé entre dans la zone d'exposition. L'unité comprend également un balayage biologique r pour détecter tout accès du personnel dans les parois avant et arrière de la zone d'exposition. La machine UV est un outil d'exposition fiable et polyvalent pour les processus de lithographie dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'actif est capable de fournir une exposition d'image de petite à grande taille et de transfert de modèle avec précision et répétabilité. Ses caractéristiques de sécurité assureront que le personnel est protégé contre les radiations UV dangereuses AXCELIS/FUSION. Le modèle avancé fournit un outil efficace, précis, automatisé et fiable pour les processus de lithographie des semi-conducteurs.
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