Occasion AXCELIS / FUSION UV #9257126 à vendre en France

AXCELIS/FUSION UV est un équipement d'exposition à haut débit conçu pour le processus de photolithographie utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il utilise des sources de lumière laser profonde FUSION UV excimer avec des longueurs d'onde de 193 nanomètres pour obtenir des caractéristiques ultra-fines avec une répétabilité élevée. Le système est capable d'exposer des substrats de différentes tailles et matériaux tels que le silicium, le SiGe, le quartz ou le verre jusqu'à 300 mm et est optimisé pour l'imagerie de haute précision. De plus, les techniques avancées d'optique et d'imagerie de l'unité permettent une résolution jusqu'à des largeurs de nano-portée et de ligne inférieures à 15nm. La machine est capable de fournir des expositions sur mesure adaptées aux besoins des différents procédés de sorte que chaque couche du substrat puisse être exposée avec précision et précision. Il est particulièrement utile lors des phases de développement d'un projet, fournissant une plate-forme flexible pour le prototypage et la mise à l'essai de nouvelles conceptions. L'outil dispose également d'une technologie d'optimisation de l'imagerie en temps réel, permettant des résultats d'exposition précis et reproductibles. AXCELIS UV dispose également d'un contrôleur d'actifs de pointe avec interface graphique utilisateur intuitive, permettant de changer facilement les paramètres et d'optimiser les processus. En outre, le modèle peut être intégré dans les fabs existants et est personnalisable pour répondre à des besoins spécifiques. L'équipement comprend une série de dispositifs de sécurité. La tête de balayage est équipée d'un bouclier de sécurité et le système offre plusieurs couches de protection pour le personnel et l'environnement de travail. Les UV sont conçus pour protéger l'environnement avec des processus et des matériaux respectueux de l'environnement. L'unité est conçue pour optimiser le débit et obtenir des résultats cohérents pour toutes les expositions. Cela se fait grâce à la combinaison d'une alimentation électrique très efficace, d'algorithmes de contrôle avancés et d'une optique sophistiquée. Les sources de lumière laser utilisées sont conçues pour une utilisation à long terme avec une maintenance minimale et une sortie stable. Globalement, AXCELIS/FUSION UV est une machine d'exposition efficace et fiable qui fournit une imagerie de haute précision avec des profils d'exposition personnalisables et offre un débit optimisé. C'est une solution polyvalente et économique pour tout procédé de fabrication de semi-conducteurs.