Occasion DRC UV-M10 #293642351 à vendre en France
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DRC UV-M10 est un puissant équipement d'exposition conçu pour des performances élevées dans la production de dispositifs à semi-conducteurs et à couches minces. Le système est hautement automatisé et intègre trois étapes clés d'un processus de traitement de la photolithographie : chargement du substrat, exposition et cuisson après exposition. Le flux de travail intégré se traduit par un processus de fabrication de dispositifs efficace et rentable. UV-M10 dispose d'une unité d'alignement circulaire de grande surface avec deux bras de table qui permettent un chargement et un déchargement efficaces du substrat. Il est capable de manipuler à la fois la production manuelle et automatisée, avec une large gamme de précision d'alignement en fonction de la taille du substrat et du type de dispositif en cours de réalisation. En outre, la machine est conçue pour être facilement configurable et hautement personnalisable en fonction des besoins des clients. L'outil d'exposition est équipé d'un atout avancé de projection ultra haute résolution. Le modèle délivre jusqu'à 40 mJ/cm ² d'énergie UV actinique avec un débit allant jusqu'à 1400 plaquettes par heure. Il dispose également d'un équipement de protection contre la lumière qui garantit une exposition régulière du substrat au rayonnement UV actinique, d'où une taille de motif uniforme et une grande homogénéité du dispositif final. DRC UV-M10 offre une large gamme de capacités de cuisson post-exposition (PEB), y compris le contrôle de la température, le refroidissement et le séchage rapides, et la manutention semi-automatisée des échantillons. Il est conçu pour garantir des résultats optimaux en termes de performance et de rendement des appareils, tout en minimisant le temps et l'énergie nécessaires à la production. En outre, le système est doté d'un ensemble complet d'outils logiciels qui permettent aux utilisateurs d'ajuster les paramètres d'exposition et la température du substrat en fonction des exigences de production de leurs appareils. Ceci assure un procédé de fabrication fiable, tout en tenant compte de la complexité des dispositifs en cours de réalisation. Le logiciel est également conçu pour aborder divers aspects liés à la sécurité et à l'environnement, tels que les niveaux de rayonnement UV, ainsi que tout problème potentiel de pollution associé au processus de fabrication. UV-M10 est une unité d'exposition puissante et efficace qui fournit une solution idéale pour la production de semi-conducteurs et de dispositifs à couches minces. Son flux de travail automatisé et ses fonctionnalités avancées permettent aux fabricants de produire rapidement et de manière fiable des appareils à haute performance d'une manière rentable.
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