Occasion DS SEMICON DS 141 #293637840 à vendre en France

DS SEMICON DS 141 est un équipement automatisé avancé d'exposition des plaquettes conçu pour le traitement des photomasques dans la fabrication des semi-conducteurs IC (circuit intégré). Le système est adapté à la fois pour la photolithographie et les processus de cendrage/soufflage. DS 141 est composé d'une unité principale, de trois servomoteurs, d'un moteur pas à pas, d'un robot X/Y et d'autres composants. L'unité principale de l'unité fournit le contrôle matériel et logiciel du processus d'exposition et de nettoyage. Il est responsable du contrôle du stepper et des servomoteurs et du robot X/Y. Le moteur pas à pas entraíne un ensemble de mandrin de plaquettes qui est utilisé pour transférer les plaquettes en cours de traitement. Les 3 servomoteurs contrôlent les mouvements d'axes X, Y et Z, qui sont utilisés pour positionner le masque et le substrat dans la chambre d'exposition. Le robot X/Y transfère le substrat des serrures de charge à la chambre d'exposition pendant le traitement. DS SEMICON DS 141 dispose d'une machine d'imagerie haute résolution qui peut gérer les expositions du côté des photomasques et des plaquettes. L'outil d'imagerie est composé d'un mandrin réticule et wafer, de deux imageurs et de deux cartes scanner qui surveillent la performance de l'actif d'imagerie. Le réticule est utilisé pour localiser le motif sur le photomasque et peut être déplacé dans les axes X, Y et Z. Le mandrin de plaquette est utilisé pour maintenir le substrat en cours de traitement, et peut également être déplacé dans les axes X, Y et Z. Le modèle est équipé d'une chambre à vide ultra haut qui est utilisée pour exposer la plaquette à basse pression de vide pour minimiser la contamination du substrat. L'équipement est également équipé d'un MFC (Mass Flow Controller), d'un contrôleur de pression et d'un manomètre ionique qui mesure la pression à l'intérieur de la chambre d'exposition. Le système dispose également d'une unité d'irradiation qui se compose de trois lampes au xénon d'une puissance totale de 625 watts. DS 141 dispose d'un processus automatique et d'une machine d'archivage des données, qui permet la télécommande et la surveillance du processus d'exposition. L'outil fournit également un outil de diagnostic et de détection de défaut qui affiche l'état du modèle en temps réel. L'équipement peut stocker jusqu'à 500 recettes et traiter jusqu'à 1 000 000 de plaquettes par cycle de processus. En conclusion, le DS SEMICON DS 141 est un système automatisé avancé d'exposition des plaquettes qui comprend une imagerie haute résolution, une chambre à vide ultra haute, un MFC et une unité d'irradiation, ce qui le rend adapté au traitement des photomasques et à d'autres procédés de fabrication de semi-conducteurs de haut niveau.