Occasion ELECTRON VISION / AMAT / APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11 #138799 à vendre en France

ELECTRON VISION/AMAT/APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11 est un équipement d'exposition avancé conçu par AMAT qui offre des performances supérieures en lithographie/gravure/nanofabrication. Ce système comprend une chambre à vide, une unité de projection éclairée par laser et une plate-forme de balayage à grande vitesse pour contrôler le processus. AMAT EC-30200-AT11 est capable de supporter la plus large gamme de diamètres de plaquettes, de 4 pouces jusqu'à 8 pouces (100mm à 200mm). La machine utilise plusieurs lasers à photons, qui peuvent contrôler précisément l'intensité lumineuse pour les applications de lithographie et de gravure. Ces lasers peuvent produire une intensité lumineuse très uniforme et des images de haute fidélité avec une résolution allant jusqu'à 0,25 um/1000 lignes/mm. La plate-forme de balayage haute vitesse avec cet outil lui permet d'effectuer des processus de photolithographie à des vitesses allant jusqu'à 1kHz. Cela permet un débit beaucoup plus rapide tout en assurant une plus grande uniformité et précision dans le processus. L'actif dispose également d'un modèle de métrologie interférométrique de 256 zones qui permet des mesures répétables et un traitement précis sur les plaquettes. ELECTRON VISION EC-30200-AT11 utilise une combinaison unique de gaz de spécialité et de mécanismes de diffusion avancés pour améliorer les performances de gravure. Cela comprend les gaz à base de HF, les mélanges de fluorocarbones et d'oxygène, O2, CF4, CHF3, CF6, CF2, CO2 et d'autres gaz spéciaux. L'équipement dispose également d'un système d'injection chimique avancé pour contrôler avec précision les niveaux de pH et d'une unité de sélection automatisée des gaz pour personnaliser les conditions de surface du mélange gazeux. APPLIED MATERIALS EC-30200-AT11 dispose également d'une machine d'automatisation avancée qui assure le contrôle et la surveillance des processus. Cela comprend un outil de contrôle embarqué avec une interface d'affichage permettant aux opérateurs de surveiller et d'ajuster les processus à distance. Il dispose également d'une connexion réseau à haut débit pour faciliter le transfert et l'échange de données entre le contrôleur des actifs et d'autres appareils. En conclusion EC-30200-AT11 est un modèle d'exposition très avancé conçu pour fournir des performances exceptionnelles dans les applications de lithographie, gravure et nanofabrication. En utilisant plusieurs lasers à photons, une plate-forme de balayage à grande vitesse et une variété de gaz spéciaux et de systèmes d'injection chimique, cet équipement fournit des résultats précis et reproductibles pour une large gamme de diamètres de plaquettes. Grâce au système d'automatisation avancé, les opérateurs peuvent accéder à la télécommande et aux capacités de surveillance des processus.