Occasion FUSION G03 #9196371 à vendre en France

FUSION G03 est un équipement d'exposition avancé conçu pour les aligneurs et les marches à semi-conducteurs. Il dispose d'un système de mesure de l'alignement 2D pour une meilleure précision, ainsi que d'un alignement laser de haute précision et d'un serrage réticulaire pour une excellente uniformité. L'unité d'exposition est équipée d'une machine de nivellement automatique de pointe, qui assure un nivellement rapide, précis et précis sur toute la zone d'exposition, tout en offrant des performances de recouvrement supérieures. L'outil d'exposition est capable d'exposer des dispositifs jusqu'à 24 pouces au niveau de l'appareil et dispose d'un générateur de motifs à haute résolution, qui permet des motifs jusqu'à 21 µm et est capable d'exposition à 4 voies. L'actif dispose d'un fuser LED haute performance, qui fournit une excellente luminosité et contraste avec des plages de variation allant jusqu'à 0,4 µm et est également capable de réduire les variations d'exposition. Le modèle est également équipé d'un scanner tridimensionnel de haute précision pour assurer un alignement précis sur plusieurs aligneurs, ainsi que d'une variété de fonctions de contrôle telles que la reconnaissance de défaut d'alignement de haute précision et l'appariement de superposition. En outre, l'équipement est conçu pour être entièrement automatisé à la fois pour la manipulation des dispositifs et des réticules. Il est également compatible avec une variété de types de réticules, tels que les réticules à bosse, et équipé d'une pince à réticule haute résolution. Le système dispose également d'une plate-forme de métrologie avancée avec une variété de fonctions de métrologie, y compris le microscope électronique à balayage (SEM), l'inspection au microscope à force atomique (AFM) et l'inspection optique. Les fonctions de métrologie sont conçues pour assurer une homogénéité et une reproductibilité exceptionnelles pour des performances supérieures. Dans l'ensemble, G03 est une unité d'exposition avancée et performante conçue pour l'alignement et l'exposition des semi-conducteurs de précision. Ses caractéristiques en font un choix idéal pour les lignes de production et autres applications de fabrication de semi-conducteurs à haut volume.