Occasion NITTO UM 810 #9150884 à vendre en France

NITTO UM-810 Exposure Equipment est un outil de photolithographie de pointe utilisé dans la fabrication de circuits intégrés. Ce système utilise un laser excimère au fluorure d'argon (ArF) d'une longueur d'onde de 193nm pour générer des motifs et des caractéristiques extrêmement petits sur les substrats semi-conducteurs. L'unité se compose de deux composants : l'optique d'exposition avancée et le robot manipulateur. L'optique avancée est composée d'une source d'énergie - le laser excimère - qui est amplifiée optiquement pour délivrer 15mJ/pulse. Ceci est couplé avec un aligneur de masque de précision et une machine de projection d'image optique qui créent ensemble des caractéristiques extrêmement petites sur la plaquette de seulement 0,25 μ m de largeur de ligne ou moins. L'optique comprend un « pinset » pour le contrôle au niveau des pixels de la précision d'alignement et de la superposition. Non seulement cela permet aux fabricants de puces de projeter avec précision le motif de masque sur la plaquette, mais il élimine également les désalignements de masque et autres aberrations. Le robot s'occupe du positionnement et de l'alignement de la plaquette, avec un outil d'alignement contrôlé par la force pour une meilleure précision. Le robot est un atout 4 axes totalement autonome, capable de se déplacer avec une précision de position de 0,5 μ m, lui permettant de retarguer avec précision, ou d'aligner, le substrat sur le masque. Les capteurs haute résolution du robot lui permettent de détecter et de corriger les erreurs d'alignement, tout en réduisant les erreurs de positionnement des bords à 1 μ m ou mieux. Ces caractéristiques et composants font du modèle d'exposition UM-810 un outil efficace et précis pour la fabrication de circuits intégrés. Fonctionnant avec une longueur d'onde de 193nm, l'équipement est capable de créer des caractéristiques extrêmement petites sur le matériau semi-conducteur, tout en offrant une fiabilité et une précision supérieures grâce au contrôle de tolérance très précis et serré du robot. Le système permet en outre aux fabricants de puces d'ajuster facilement la superposition des motifs de masque - la pierre angulaire pour créer des motifs complexes et très petits - avec son « jeu de broches » qui permet le contrôle au niveau des pixels de la précision d'alignement et de la superposition. Il en résulte une amélioration des rendements et de la rentabilité, ce qui fait de NITTO UM-810 Exposure Unit un outil inestimable dans le processus moderne de fabrication des circuits intégrés.