Occasion NOVELLUS Vector Sola xT #9390438 à vendre en France
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NOVELLUS Vector Sola xT est un équipement d'exposition avancé conçu pour répondre aux besoins exigeants des procédés lithographiques utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Vector Sola xT est capable de fournir une exposition de haute précision et de haute qualité à des températures de 600 ° C ou plus, avec un recouvrement de motifs haute vitesse et haute résolution qui permet la production des structures les plus complexes. Le système utilise une unité optique avancée à double étage avec un balayage polygone de haute précision et une superposition de motifs de super résolution qui permet de modeler avec précision les caractéristiques à l'échelle du micron à grande vitesse. Une tête optique avancée en champ proche équipée d'algorithmes propriétaires permet une imagerie précise et haute définition avec un fort contraste. Ceci améliore l'uniformité et l'homogénéité des noeuds sur tout le champ du substrat. La machine d'exposition à grande vitesse a un débit total de 225 plaquettes par heure. Il est équipé d'algorithmes à balayage par fente de haute précision et de techniques de piquage rapide pour permettre une imagerie transparente avec une faible distorsion. Ce débit élevé assure un temps de cycle plus court, facilitant des opérations de production plus efficaces. En plus de ses capacités d'exposition à haute vitesse, NOVELLUS Vector Sola xT est équipé d'outils avancés de manutention sous vide, qui permettent un chargement et un déchargement rapides du substrat. Ceci minimise le risque de défaillance de l'exposition due aux vibrations du substrat. Il aide également à améliorer le débit et à réduire le temps de cycle d'exposition. Vector Sola xT dispose également d'un outil avancé de contrôle de l'exposition qui permet un contrôle précis des paramètres d'exposition. Cela aide à optimiser les résultats des processus en fournissant une solution d'imagerie précise et fiable. L'actif est également équipé d'un modèle d'alignement de haute précision pour assurer un alignement précis de l'exposition, minimisant la surexposition et la sous-exposition au substrat. Dans l'ensemble, NOVELLUS Vector Sola xT est un équipement d'exposition avancé conçu pour répondre aux besoins exigeants des procédés lithographiques de l'industrie des semi-conducteurs. Son balayage polygone de haute précision, son système optique à double étage et sa superrésistance permettent de produire les structures les plus complexes à grande vitesse. Ses systèmes avancés de vide et d'alignement permettent une imagerie précise et fiable avec une faible distorsion, et son unité de contrôle de l'exposition contribue à optimiser les résultats des processus.
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