Occasion PANASONIC ANUP5252L #9374982 à vendre en France

PANASONIC ANUP5252L est un équipement automatisé d'exposition des plaquettes qui fournit des résultats cohérents et reproductibles lors de l'exposition d'une plaquette à une source lumineuse ultraviolette (UV). Ce système est conçu pour supporter une grande variété de processus de lithographie, y compris la photolithographie des semi-conducteurs de projection en ultraviolet profond (DUV). ANUP5252L utilise une unité automatisée d'alignement des plaquettes basée sur une plate-forme pour assurer une exposition précise et répétable des plaquettes. Cette unité d'alignement utilise un interféromètre pour mesurer la hauteur de la plaquette avec une précision de détection de 1 micron, assurant que la plaquette est alignée avec l'unité d'exposition pour des résultats optimaux. La machine permet de prérégler les paramètres de temps d'exposition et permet d'augmenter le rendement en évitant les chevauchements ou les zones manquantes lors de l'exposition de plusieurs plaquettes. PANASONIC ANUP5252L dispose d'une lentille de focalisation UV de PANASONIC, qui assure une intensité de champ uniforme pendant le processus d'exposition. Cet objectif avancé est conçu pour produire une intensité uniforme sur toute la surface de la plaquette, réduisant les erreurs et optimisant le processus d'exposition. L'objectif peut être utilisé pour une variété d'expositions, y compris le contact, la proximité et la lithographie à contact doux, ainsi que le balayage et la lithographie par étapes. L'outil est équipé d'un mandrin à vide qui maintient solidement les substrats pendant l'exposition. Le mandrin utilise une interface de dépression basse pression qui maintient +/-15 % d'uniformité sur la surface de la plaquette, réduisant la distorsion et assurant une exposition précise et répétable. Le logiciel de l'actif dispose également de fonctions d'auto-restauration et d'étalonnage croisé, fournissant une plate-forme intelligente et stable pour une variété d'applications de lithographie. ANUP5252L est conçu pour des performances et des rendements élevés dans les environnements industriels. La construction robuste du modèle, combinée à des fonctions de surveillance et de contrôle de pointe, permet d'assurer une exposition optimale à chaque fois. De plus, l'équipement comprend une large gamme de dispositifs de sécurité automatisés, y compris des hottes d'arrêt d'urgence et de protection qui empêchent les fuites légères. En conséquence, PANASONIC ANUP5252L fournit des expositions fiables et répétables qui aident à minimiser les variations et à s'assurer que les plaquettes répondent à des spécifications lithographiques précises.