Occasion SANYO / TOTTORI LPM 2006W-1 #9354054 à vendre en France

SANYO/TOTTORI LPM 2006W-1 est un grand système d'exposition à la lithographie destiné à des applications à grande ou moyenne surface. Conçu avec haute résolution et haut débit à l'esprit, il est un choix approprié pour les fabs travaillant sur plusieurs processus lithographiques. SANYO LPM 2006W-1 utilise un illuminateur avancé et comprend une gamme de fonctionnalités permettant un fonctionnement efficace. Une source lumineuse de niveau de lumière ultra bas est disponible pour une acquisition de focalisation précise et un processeur de contrôle quad-canal produit un alignement d'exposition très fiable et efficace. L'illuminateur est capable d'émettre des faisceaux de haute intensité pour le débit rapide ainsi que des faisceaux de faible intensité qui réduisent le temps nécessaire à l'acquisition de focalisation précise. Pour une meilleure précision, TOTTORI LPM 2006W-1 est équipé de plusieurs optiques supportant une large gamme d'ouvertures numériques (NA) et de longueurs d'onde. Cela comprend une réfraction réglable à cinq éléments, une longueur d'onde multiple, un balayage laser et une optique d'imagerie haute résolution. De plus, une impulsion de faisceau d'électrons de 100 millisecondes et une nouvelle unité d'alimentation numérique (PSU) sont prévues, permettant de contrôler l'intensité en fonction des contours du masque. Le contrôle de la position de la plaquette est assuré par un étage de haute précision, qui comporte un positionnement six axes complet, un entraînement direct et une résonance de mouvement réduite. L'étage à six axes intègre également des caméras d'imagerie thermique pour la détection de motifs de masques et est interfacé à un système de manutention de plaquettes, assurant un alignement précis des plaquettes et un transfert automatique des plaquettes. En termes de maintenance, LPM 2006W-1 nécessite très peu de maintenance. Cela est renforcé par l'inclusion de roulements à rouleaux coniques ainsi que des diagnostics en ligne qui peuvent identifier les problèmes avant qu'ils ne deviennent graves. De plus, une fonction auto-propre permet d'éliminer rapidement les particules des optiques sensibles. Dans l'ensemble, SANYO/TOTTORI LPM 2006W-1 est un excellent choix pour les fabs à la recherche d'une étape efficace et précise vers la production lithographique. Avec sa haute résolution, son haut débit et sa conception conviviale, il est plus que capable de répondre à un large éventail de besoins d'application.