Occasion USHIO UFX-2259B-AMB01 #9372133 à vendre en France
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ID: 9372133
Style Vintage: 2009
Exposure system, parts machine
Shutter unit:
Exposure area, P/N; 2317-3246
Mask light source
Optical parts:
Light collecting mirror, P/N: 2306-3208
Plane mirror, P/N: 2836-7583
Projection lens, P/N: UPL-59EX
Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361
CCD Has been removed
Workpiece stage:
Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5)
Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5)
Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870
Work stage units:
Drive shaft pressure wheel unit
Drive shaft unit
Brake shaft unit
Clamp unit
Vacuum suction plate
Anti-uplifting press wheel group
Illumination / Microscope: Light cover light source gate missing
Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13
OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R)
Reel receiving and discharging mechanism:
AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250
AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K
Clutch, P/N: AMC-40
(6) Drive / Brake units:
MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A
MATSUSHITA Motor driver (Drive unit ), P/N: MSD5A1P1EA
Clutch, P/N: AMC-5
Piping units:
SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B
PCB:
USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B
USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F
NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00
Video IN, P/N: RICE-001
Video OUT, P/N: PLUM-001
MELEC Motor control, P/N: C-864V1
Screen / Peripheral:
KEYENCE VT-7S Touch panel display is non-functional
Mouse for visual teaching
PLC:
MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU
MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2
MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40
MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50
MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2
MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D
MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA
MITSUBISHI QJC1724N
MITSUBISHI QJ61BT11N
Internal wiring; Sensor line / Communication line
PC Host: AUPC
Air mount: (3) Balance air cushions
Static elimination: Ion gun
2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01 est un équipement d'exposition avancé conçu pour des applications de lithographie optique. Le système offre un processus d'exposition de haute précision et de grande stabilité, ce qui est essentiel pour garantir la précision des caractéristiques imprimées. Il est capable de contrôler avec précision la forme, la taille, la profondeur et d'autres caractéristiques de microstructure des éléments d'impression. L'unité est livrée avec une variété de lentilles et d'ouvertures pour s'adapter à différents processus et matériaux. Il est équipé d'un étage de haute précision pour déplacer la plaquette afin d'assurer un placement précis des caractéristiques imprimées. La plaquette exposée est ensuite transférée de la machine à la plate-forme de traitement pour un traitement ultérieur. UFX-2259B-AMB01 permet un contrôle précis du processus d'exposition au moyen d'un logiciel d'accompagnement. Ce logiciel est capable de gérer le temps d'exposition et la puissance, ainsi que de contrôler les différents paramètres, tels que la focalisation et la longueur d'onde. Il permet également aux utilisateurs de surveiller la température, l'humidité et le débit d'air pendant le processus d'exposition. USHIO UFX-2259B-AMB01 dispose également d'un processeur de signal numérique avancé (C-DSP) pour fournir une précision constante des paramètres d'exposition et une température constante dans la chambre d'exposition. Le processeur avancé fournit également des capacités de diagnostic et permet la surveillance à distance des performances de l'outil. L'actif est capable de calibrer avec précision les paramètres d'exposition pour garantir la précision du processus. Il peut également évaluer les caractéristiques de la plaquette pour identifier rapidement les problèmes potentiels avec le processus d'impression. UFX-2259B-AMB01 fournit aux utilisateurs des données détaillées sur les registres d'exposition qui peuvent être utilisées pour la déclaration et l'analyse. Le modèle est équipé de nombreuses fonctions de sécurité pour surveiller les différents paramètres et prévenir le fonctionnement incorrect du processus. Il s'agit notamment d'un garde-ampoule halogène et d'une mise à la terre antistatique pour les mandrins périphériques de la plaquette. L'équipement d'exposition dispose également d'un système d'amortisseur afin de maintenir une performance d'exposition optimale dans les scénarios extrêmes. Dans l'ensemble, USHIO UFX-2259B-AMB01 est une unité d'exposition avancée conçue pour des applications de lithographie optique. Il est capable de contrôler avec précision la forme, la taille, la profondeur et d'autres caractéristiques de microstructure des éléments imprimés, ainsi que de fournir aux utilisateurs des données de journal d'exposition détaillées pour le compte rendu et l'analyse. La machine offre également de nombreuses caractéristiques de sécurité et de performance pour garantir des performances optimales.
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