Occasion USHIO UFX-2259B-AMB01 #9375525 à vendre en France
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ID: 9375525
Style Vintage: 2009
Exposure system
Shutter unit:
Exposure area, P/N; 2317-3246
Mask light source
Optical parts:
Light collecting mirror, P/N: 2306-3208
Plane mirror, P/N: 2836-7583
Projection lens, P/N: UPL-59EX
Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361
Workpiece stage:
Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5)
Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5)
Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870
Work stage units:
Drive shaft pressure wheel unit
Drive shaft unit
Brake shaft unit
Clamp unit
Vacuum suction plate
Anti-uplifting press wheel group
Illumination / Microscope: Light cover light source gate
Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13
OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R)
Reel receiving and discharging mechanism:
AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250
AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K
Clutch, P/N: AMC-40
(6) Drive / Brake units:
MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A
MATSUSHITA Motor driver (Drive unit), P/N: MSD5A1P1EA
Clutch, P/N: AMC-5
Piping units:
SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B
PCB:
USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B
USHIO Motor interface, P/N: PB-1017B
USHIO Motor interface, P/N: PB-1018B
USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F
USHIO Shutter control, P/N: PB-1040B
NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00
Video IN, P/N: RICE-001
Video OUT, P/N: PLUM-001
MELEC Motor control, P/N: C-864V1
Screen / Peripheral:
KEYENCE VT-7S Touch panel display
AU Positioning visual screen
Mouse for visual teaching
PLC:
MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU
MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2
MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40
MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50
MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2
MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D
MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA
MITSUBISHI QJC1724N
MITSUBISHI QJ61BT11N
Internal wiring; Sensor line / Communication line
PC Host: AUPC
Air mount: (4) Balance air cushions
ULVAC DA-60S Vaccum pump
Static elimination: Ion gun
Air conditioner
2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01 est un équipement d'exposition optique de précision, conçu pour les industries des semi-conducteurs et de l'optique de précision. Il est construit avec une technologie de pointe pour fournir aux utilisateurs des capacités d'exposition fiables et performantes. Le système d'exposition dispose d'un ensemble de canons à électrons à émission de champ, ce qui le rend capable de produire des expositions extrêmement haute résolution et répétables. Le canon à électrons d'émission de champ peut produire des faisceaux d'électrons avec une gamme d'énergie de 1-30kV, fournissant un excellent contrôle sur les niveaux de dose d'exposition. Cette caractéristique permet d'obtenir des expositions de précision avec un minimum de diffusion et de diffusion électronique. UFX-2259B-AMB01 dispose également d'une unité de balayage des plaquettes de haute précision. La machine à balayer est composée d'un moteur pas à pas et d'un pilote pas à pas, utilisés pour scanner la plaquette à des vitesses programmables. Cette fonctionnalité permet un balayage rapide et de grande précision des plaquettes, ce qui permet un contrôle précis des motifs d'exposition. De plus, l'outil est équipé d'une chambre de diffusion de gaz chauffée assurant un contrôle précis de la diffusion de gaz. L'actif de diffusion du gaz assure des facteurs B uniformes sur la plaquette, indépendamment de la taille de la plaquette ou de la variation de la dose d'exposition. Cette caractéristique est particulièrement importante pour la production de plaquettes de haute précision avec des caractéristiques extrêmement petites. Un modèle intégré d'extraction sous vide est également inclus, offrant un chargement et un déchargement optimaux des plaquettes. Le matériel d'extraction sert à extraire les particules, contaminants ou autres résidus laissés par le système d'exposition, en veillant à ce que les plaquettes restent exemptes de contamination. Enfin, l'unité USHIO UFX-2259B-AMB01 est équipée d'un processeur d'exposition à contact contrôlé par ordinateur. Le processeur d'exposition de contact permet aux utilisateurs de programmer les paramètres d'exposition et d'inspecter la plaquette après exposition. Cette fonctionnalité permet de s'assurer que les résultats sont reproductibles et cohérents. Dans l'ensemble, UFX-2259B-AMB01 est une machine d'exposition puissante et fiable, conçue pour fournir une précision d'exposition et une répétabilité maximales. Ses caractéristiques garantissent des expositions à haute résolution et uniformes, tout en éliminant tout risque de contamination. En tant que tel, il est un choix idéal pour les applications de semi-conducteurs et d'optique de précision.
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