Occasion USHIO UFX-2259B-AMB01 #9375526 à vendre en France
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ID: 9375526
Style Vintage: 2009
Exposure system, parts machine
Shutter unit:
Exposure area, P/N; 2317-3246
Mask light source
Optical parts:
Light collecting mirror, P/N: 2306-3208
Plane mirror, P/N: 2836-7583
Projection lens, P/N: UPL-59EX
Microscope, P/N: 1000051733 / 3185-0361
Workpiece stage:
Beam splitters, P/N: 1000049959 (43.5)
Beam splitter, P/N: 1000029070 (11.5)
Motor unit (X, Y, Θ), P/N: 3026-0870
Work stage units:
Drive shaft pressure wheel unit
Drive shaft unit
Brake shaft unit
Clamp unit
Vacuum suction plate
Anti-uplifting press wheel group
Illumination / Microscope: Light cover light source gate
Micrometer (Precision sliding table), P/N: MHS2-13
OMROM Rotary encoder, P/N: E6B2-CWZ6C (2000P/R)
Reel receiving and discharging mechanism:
AC Motor, P/N: VHR206AGVJ / GV2G250
AC Motor, P/N: 2TK3GN-AGN25K
Clutch, P/N: AMC-40
(6) Drive / Brake units:
MATSUSHITA AC Servo motor (Drive unit), P/N: MSM5AZP1A
MATSUSHITA Motor driver (Drive unit ), P/N: MSD5A1P1EA
Clutch, P/N: AMC-5
Piping units:
SMC Solenoid valve workpiece blow, P/N: VCW31-5G-2-02-V-B-X41
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VP542R-5GZ-03A-F
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW41-5G-4-02-V-B-X27
SMC Solenoid valve workpiece vacuum, P/N: VCW3134V-02-5GS-B
PCB:
USHIO Auto micrometer, P/N: PB-1026B
USHIO Motor interface, P/N: PB-1017B
USHIO Motor interface, P/N: PB-1018B
USHIO Rotary encoder I / F, P/N: HC ENC I/F
USHIO Shutter control, P/N: PB-1040B
NDG Switcher, P/N: PB-1028B-U00
Video IN, P/N: RICE-001
Video OUT, P/N: PLUM-001
MELEC Motor control, P/N: C-864V1
Screen / Peripheral:
KEYENCE VT-7S Touch panel display
PLC:
MITSUBISHI CPU Unit, P/N: Q06HCPU
MITSUBISHI Serial data unit, P/N: QJ71C24-R2
MITSUBISHI 64-Point IN unit, P/N: QX40
MITSUBISHI 65-Point OUT unit, P/N: QY50
MITSUBISHI 2-Axis positioning unit, P/N: QD75D2
MITSUBISHI High speed counter, P/N: QD62D
MITSUBISHI Memory card, P/N: Q2MEM-8MBA
MITSUBISHI QJC1724N
MITSUBISHI QJ61BT11N
Internal wiring; Sensor line / Communication line
PC Host: AUPC
Air mount: (4) Balance air cushions
ULVAC DA-60S Vaccum pump
Static elimination: Ion gun
2009 vintage.
USHIO UFX-2259B-AMB01 est un équipement d'exposition conçu pour être utilisé dans le cadre d'un processus d'imagerie lithographique ou photomasque. Il utilise une nouvelle combinaison de technologies pour fournir une exposition précise, cohérente et répétable. Le système comprend un moteur d'imagerie propriétaire, qui fournit la principale source d'éclairage. Il s'agit d'une lampe photo-cathode en quartz à arc de mercure avec une ligne d'émission de 248nm et un obturateur quadriphasé pour contrôler le temps d'exposition. Il est capable d'exposer jusqu'à 5500 plaquettes par heure à un niveau de puissance d'exposition pouvant atteindre 10 mJ par cm2. La lampe a une durée de vie allant jusqu'à 2000 heures avant d'avoir besoin d'être remplacée. En outre, la machine comprend une plate-forme optique conçue, qui fournit l'optique principale de l'outil. Ceci utilise une combinaison de miroirs réfléchissants et une lentille de condenseur conçue sur mesure pour s'assurer que la lumière est correctement focalisée sur les plaquettes exposées. Cela garantit que l'exposition sera d'une qualité constante sans aucune variance en termes d'intensité ou de focalisation. Enfin, l'actif comprend également un modèle de contrôle automatisé, qui est utilisé pour surveiller et contrôler le processus d'exposition. Cela permet de fournir des renseignements détaillés sur le processus d'exposition, comme les temps d'exposition, le nombre de plaquettes exposées, le niveau d'exposition moyen et plus encore. Il comprend également un équipement de sécurité embarqué qui ferme automatiquement le système en cas de détection de lectures anormales. Dans l'ensemble, UFX-2259B-AMB01 est une unité d'exposition très avancée, fiable et facile à utiliser qui est idéale pour une utilisation dans un processus d'imagerie lithographique ou photomasque. Il assure un contrôle précis du processus d'exposition, et sa combinaison de technologies le rend très précis, cohérent et reproductible chaque fois.
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